İnkişaf etmiş epitaksiyada silikon karbid SiC örtüklü qrafit susseptorlarının yüksəlişi
2026-04-29
Zhejiang, 3 iyun 2026-cı il – Qabaqcıl yarımkeçirici material örtükləri sahəsində tanınmış beynəlxalq brend olan Semixlab, istehsal və tədqiqat və inkişaf bazası olan Zhejiang Liufang Semiconductor Technology Co., Ltd. ilə birlikdə böyük bir tikinti mərhələsinə çatdı. Əsas struktur çərçivəsinin (üstünlük) tamamlanmasından sonra layihə birbaşa yüksək dəqiqlikli daxili quraşdırma mərhələsinə keçdi. Hal-hazırda, yüksək səviyyəli, yarımkeçirici səviyyəli təmiz otaq sistemi ətraflı daxili işlər və memarlıq yoxlamalarından keçir.
Hazırkı tikinti işləri qabaqcıl ətraf mühit nəzarəti, lokal ultra təmiz boru şəbəkələri və lokal HVAC laminar axın modullarını əhatə edir - bunların hamısı ciddi hissəcik sayı məhdudiyyətlərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır. Layihə komandanlığının məlumatına görə, tam daxili bəzək, hava filtrasiya sisteminin quraşdırılması və təmiz otaq sertifikatlaşdırmasının yaxın rüblərdə aparılması gözlənilir. Bu, komandanı qabaqcıl CVD avadanlıqlarının köçürülməsi, kalibrlənməsi və ilkin sınaq sınaqlarını 2026-cı ilin dekabr ayına qədər başa çatdırmaq üçün yola qoyur.

Şəkil 1: Uğurla tamamlanmış istehsal müəssisəsinin xarici görünüşü.

Şəkil 2: Struktur hazırlığı və davam edən plan optimallaşdırmalarını göstərən daxili görünüş.
Növbəti Nəsil Örtüklər üçün Tutumda Böyük Artım
Çılpaq beton konstruksiyadan ultra təmiz yarımkeçirici istehsal mühitinə keçmək Semixlab-ın istehsal gücü üçün böyük əhəmiyyət kəsb edir. Yeni müəssisə 80,000 kvadrat metrdən çox sahəni əhatə edir. Tamamilə işə salındıqdan sonra, pan-yarımkeçirici bazarında qlobal təchizat maneələrini aradan qaldırmağa yönəlmiş yüksək həcmli istehsal mərkəzi kimi xidmət edəcək.
Zavoddakı əsas avadanlıqlara yeni nəsil yüksək temperaturlu CVD sobaları, qabaqcıl vakuum təmizləmə sistemləri və avtomatlaşdırılmış ultra dəqiq CNC emal mərkəzləri daxil olacaq. Yarımkeçirici dərəcəli təmizlik otağı sayəsində bütün komponentlər çirklənmədən azad mühitdə çökmə, təmizlənmə və son qablaşdırmadan keçəcək. Bu, beynəlxalq çip istehsalçılarının tələb etdiyi son dərəcə aşağı kül tərkibinə (GDMS vasitəsilə 5 ppm-dən az) və submikron qalınlığına dözümlülük təmin etmək üçün vacibdir.
Bu, əsas məhsul xətləri üçün nə deməkdir

Şəkil 3: Yarımkeçirici dərəcəli təmiz otaq çərçivəsi üçün yüksək dəqiqlikli mühəndislik qurğusu hazırlanır.

Şəkil 4: Xüsusi döşəmə və hava təmizləyici modulların aktiv quraşdırılması.
Avadanlıqların ilin sonuna qədər gətirilməsi planlaşdırıldığı üçün Semixlab aşağıdakılar da daxil olmaqla əsas məhsullarının çatdırılmasını artırmağa hazırlaşır:
CVD Silikon Karbid (SiC) Örtükləri – əsas epitaksiya sistemləri ilə uyğun olan yüksək təmizlikli SiC susseptorları, yarımay halqaları və peyk diskləri üçün.
CVD Tantal Karbid (TaC) Örtükləri – SiC və GaN tək kristallarının böyüməsi üçün vacib olan, 2600°C-yə qədər sabit qalması lazım olan yüksək temperaturlu istilik sahəsi komponentləri üçün hazırlanmışdır.
Pirolitik Karbon (PyC) Örtükləri – ixtisaslaşmış qrafit qızdırıcıları və lövhə emalı avadanlığı üçün sıx, məsaməli olmayan möhürləmə təklif edir.
Çin Elmlər Akademiyası və Yongjiang Laboratoriyasının alimlərindən ibarət güclü bir Ar-Ge qrupu tərəfindən dəstəklənən Semixlab-ın genişlənməsi işləri çevik, davamlı və keyfiyyət baxımından ardıcıl saxlayır. Qlobal müştərilər 4-cü rüb əməliyyat hədəfimizə doğru irəlilədikcə virtual auditlər təyin edə və ya önizləmə komponentlərinin yoxlanılması dəstləri tələb edə bilərlər.