CVD Silikon Karbid (SiC) örtük

CVD SiC örtüyü əsasən qrafitin üzərinə çökdürülmüş silikon karbid təbəqəsidir və həm temperaturun, həm də təmizliyin vacib olduğu epitaksiya alətlərində geniş istifadə olunur. Real istehsal xətlərində onu tez-tez AIXTRON, ASM/LPE, Veeco sistemlərində, eləcə də bəzi AMAT ilə əlaqəli platformalarda görəcəksiniz. Onu faydalı edən təkcə temperatur müqaviməti deyil, həm də uzun müddət ərzində ümumi sabitlikdir. Tipik epitaksiya şəraitində - hidrogen, ammonyak və ya hətta xlorlu qazlar - örtük nisbətən sabit qalır və altındakı qrafiti qoruyur. Bu, istilik sahəsini daha sabit saxlamağa kömək edir və böyümə zamanı hissəciklərin görünmə ehtimalını azaldır.

Əksər hallarda örtük susceptorlar, lövhə daşıyıcıları, qrafit halqaları və ya yarımay komponentləri kimi hissələrə tətbiq olunur. Bunların hamısı lövhənin istiləşməsində və ya yerləşdirilməsində birbaşa iştirak edir, buna görə də hər hansı kiçik qeyri-sabitlik məhsuldarlığa təsir göstərə bilər. Bu səbəbdən, örtülmüş hissələr tez-tez, xüsusən də 4-12 düymlük istehsalda, birdən çox dövr ərzində etibarlı olması lazım olan istehlak materialları kimi qəbul edilir.