TaC örtüklü LED epi qəbuledicisi

TaC örtüklü LED epi susceptor, MOCVD (metal üzvi kimyəvi buxar çökmə) avadanlığı üçün xüsusi olaraq hazırlanmış və LED epitaksial vaflilərin yüksək temperaturda çökmə prosesi üçün uyğun olan yüksək təmizlikli tantal karbid (TaC) örtük texnologiyasını qəbul edir. Məhsul əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa və istilik sabitliyinə malikdir, bu da çirklənməni və hissəciklərin tökülməsini əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər və xidmət müddətini uzadır. Bu, LED epitaksial vafli məhsuldarlığını və istehsal səmərəliliyini artırmaq üçün ideal seçimdir.

Application:

TaC örtüklü LED epi susseptor xüsusi olaraq MOCVD avadanlığı üçün nəzərdə tutulmuşdur və əsasən LED epitaksial vafli istehsalında, xüsusilə qalium nitrid (GaN) əsaslı mavi və ultrabənövşəyi LED-lərin epitaksial böyüməsi üçün istifadə olunur. O, həmçinin SiC/GaN güc yarımkeçirici cihazlarının istehsal ehtiyaclarını ödəyə bilər və elmi tədqiqat institutlarında yüksək temperaturlu CVD, MBE və digər material çöküntü təcrübələri üçün uyğundur.

Göstərilə bilən xidmətlər:

müştəri tətbiqi ssenari təhlili, uyğun materiallar, texniki problemlərin həlli.

Şirkət Profili:

Semixlab-ın 2 laboratoriyası, 20 illik maddi təcrübəyə malik ekspertlər komandası, Ar-Ge və istehsal, sınaq və yoxlama imkanlarına malikdir.

Texniki parametrləri

Əsas tətbiq sahələri

Ekoloji zəncirvari yoxlama təsdiqi

Semixlab TaC örtüklü LED epi susseptorun ekoloji zəncir yoxlaması istehsal üçün xammalı əhatə edir, beynəlxalq standart sertifikatından keçmişdir və yarımkeçirici və yeni enerji sahələrində etibarlılığını və davamlılığını təmin etmək üçün bir sıra patentləşdirilmiş texnologiyalara malikdir.

Tipik tətbiq prosesi

Xammalın hazırlanması (Yüksək təmizlikdə qrafit yoxlaması) → Substrat istehsalı (İzostatik presləmə) → TaC Örtmə Prosesi (CVD çöküntüsü) → Post-Emal (Dəqiq cilalama) → Keyfiyyətə Nəzarət → Qablaşdırma və Çatdırılma

LED texnologiyası Mini LED və Mikro LED kimi kiçik ölçülərə və daha yüksək dəqiqliyə doğru inkişaf etdikcə, MOCVD avadanlığının sabitlik və prosesə nəzarət tələbləri getdikcə daha yüksək olur. TaC örtüklü LED epi susseptorunun təşviqi mövcud LED istehsalının səmərəliliyini artırmaqla yanaşı, növbəti nəsil displey texnologiyası üçün daha etibarlı istehsal əsasını təmin edə bilər.

Ətraflı texniki spesifikasiyalar, sənədlər və ya nümunə sınaq tədbirləri üçün Semixlab-ın prosesinizin səmərəliliyini necə artıra biləcəyini araşdırmaq üçün Texniki Dəstək Qrupumuzla əlaqə saxlayın.

Semixlab TaC örtüklü LED epi susseptor əsas üstünlükləri

Super yüksək temperatur müqaviməti

TaC ilə örtülmüş LED epitaksial həssaslar 1200°C-dən yuxarı yüksək temperaturlu mühitlərdə uzun müddət stabil işləyə bilən yüksək təmizlikli tantal karbid materialından hazırlanır. MOCVD prosesinin həddindən artıq temperatur şəraitində belə, örtük çatlamayacaq və soyulmayacaq, epitaksial böyümə prosesinin vahidliyini və ardıcıllığını təmin edir və məhsulun məhsuldarlığını effektiv şəkildə artırır.

Əla korroziya müqaviməti

LED epitaksial vaflilərin istehsal prosesi zamanı həssasın uzun müddət H2 və NH3 kimi aşındırıcı qaz mühitlərinə məruz qalması lazımdır. TaC örtüyü olduqca güclü kimyəvi təsirsizliyə malikdir və qaz eroziyasına effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər və oksidləşmə və ya reaksiya nəticəsində yaranan çirklərdən qaça bilər, bununla da epitaksial vaflinin təmizliyini və optoelektronik performansını təmin edir.

Aşağı istilik deformasiyası

TaC örtüyünün istilik genişlənmə əmsalı qrafit substratın əmsalı ilə yüksək səviyyədə uyğunlaşdırılır və həssas temperaturun sürətli yüksəlişi və enişi zamanı belə çox aşağı istilik deformasiya sürətini saxlaya bilir. Bu xüsusiyyət epitaksial vafli əyilmə riskini əhəmiyyətli dərəcədə azalda, epitaksial təbəqənin vahid böyüməsini təmin edə və məhsulun tutarlılığını yaxşılaşdıra bilər.

Yüksək səth bitirmə

Həssas səthi dəqiq cilalanmışdır, pürüzlülük 0.5 μm-dən aşağı idarə olunur və epitaksial böyümə zamanı qüsur dərəcəsini effektiv şəkildə azaldır. Hamar səth həmçinin epitaksial vafli ilə suseptor arasındakı yapışmanı azalda bilər, vaflinin çıxarılmasını asanlaşdırır və vaflinin qırılma riskini azaldır.

Uzun ömür dizaynı

Ənənəvi qrafit həssasları ilə müqayisədə, TaC örtüyü daha yaxşı aşınma müqavimətinə və korroziyaya davamlıdır və onun xidmət müddəti 3 dəfədən çox artırıla bilər. Bu, nəinki istehlak materiallarının dəyişdirilməsinin tezliyini azaldır, həm də uzunmüddətli perspektivdə istehsal xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilən susseptorların qocalması nəticəsində yaranan proses dalğalanmalarını azaldır.