0200-09911 Kvars Örtük Üzüyü

AMAT 0200-09911 Kvars Örtük Halqası, plazma aşındırma sistemlərində istifadə üçün nəzərdə tutulmuş dəqiq mühəndislik yolu ilə hazırlanmış yüksək təmizlikli kvars komponentidir. O, aşındırma kamerasına, xüsusən də 200 mm-lik lövhə emalı platformalarında quraşdırılmış qoruyucu və prosesi tənzimləyən halqa kimi fəaliyyət göstərir.

Ultra yüksək təmizlikli əridilmiş kvarsdan hazırlanmış bu komponent aşağıdakılarla xarakterizə olunan ekstremal yarımkeçirici mühitlər üçün optimallaşdırılmışdır:

● Yüksək enerjili plazma məruz qalması

● Reaktiv kimyəvi qazlar (məsələn, flüor əsaslı kimyəvi maddələr)

● Sürətli istilik dövrü şərtləri

Semixlab Technology şirkətində bu məhsul aşağıdakılara ciddi nəzarət altında istehsal olunur:

● Materialın təmizliyi (aşağı metal çirklənməsi)

● Ölçü toleransları (kənar prosesinin idarə olunması üçün vacibdir)

● Səth örtüyü (hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirir)

Bu, qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində ardıcıl performans təmin edir.

Ümumi uğursuzluq rejimləri

Sərt plazma şəraitində işləyən istehlak komponenti kimi, Kvars Örtük Halqası bir neçə parçalanma mexanizminə məruz qalır:

1. Plazma ilə əlaqəli eroziya

● İon bombardmanı nəticəsində səthin kobudlaşması

● Tədricən material itkisi həndəsəni dəyişdirir

Təsir: Aşınma vahidliyinin azalması və qeyri-sabit proses performansı

2. Kimyəvi çöküntü və çirklənmə

● Səthdə polimer və ya əlavə məhsulun yığılması

● Termal dövriyyə zamanı qabıqlanma və ya soyulma

Təsir: Hissəciklərin əmələ gəlməsi və lövhə çirklənməsi

3. Termal Stress Çatlaması

● Təkrarlanan isitmə və soyutma dövrləri mikro çatlara səbəb olur

● Struktur dağılmasına səbəb olan çatların yayılması

Təsir: Ani nasazlıq və planlaşdırılmamış dayanma

4. Hissəciklərin yaranması

● Kvarsın yaşlanması mikro sınıqlara səbəb olur

● Səthin parçalanması hissəcikləri kameraya buraxır

Təsir: Məhsuldarlıq itkisi və qüsurluluğun artması

Niyə Semixlab Texnologiyasını Seçməlisiniz?

Semixlab Technology şirkətində biz dərin yarımkeçirici proses təcrübəsini qabaqcıl kvars istehsal imkanları ilə birləşdirərək aşağıdakıları təmin edirik:

● Ultra təmiz emal üçün yüksək təmizlikli kvars materialları

● Dəqiq OEM uyğunluğu üçün dəqiq emal

● Mülkiyyət xərclərini (CoO) azaltmaq üçün ömürlük performansı optimallaşdırdı

● Yarımkeçirici fabrik standartlarına uyğunlaşdırılmış ciddi keyfiyyət nəzarəti

Ehtiyat hissələrimiz OEM spesifikasiyalarına cavab vermək və ya onları aşmaq üçün hazırlanmışdır ki, bu da çətin aşındırma mühitlərində sorunsuz inteqrasiya və etibarlı performans təmin edir.

Avadanlıqdakı Vəzifə və Funksional Rol

Quraşdırma yeri

Kvars örtük halqası adətən aşağıdakı kimi quraşdırılır:

● Plitənin kənarı ətrafında

● Elektrostatik patronun (ESC) perimetrində və ya yaxınlığında

● Aşındırma kamerasının plazma məruz qalma zonasında

Fokus halqaları və kölgə halqaları kimi komponentlərlə birlikdə işləyərək kənar idarəetmə qurğusunun bir hissəsi kimi fəaliyyət göstərir.

Əsas funksiyalar

1. Kamera və Komponentlərin Mühafizəsi

Üzük qurbanlıq maneə kimi çıxış edir və vacib komponentləri (məsələn, ESC-lər və kamera divarları) aşağıdakılardan qoruyur:

● Birbaşa plazma bombardmanı

● Kimyəvi korroziya

● İonla əlaqəli püskürmə

Bu, yüksək dəyərli kamera komponentlərinin xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır.

2. Plazma Kənarlarının Nəzarəti və Proses Sabitliyi

Mühəndislik həndəsəsi (məsələn, pilləli profillər və çentikli xüsusiyyətlər) aşağıdakılara kömək edir:

● Plazma örtüyünün lövhə kənarına yaxın paylanmasını tənzimləyin

● Kənar effekti sapmalarını minimuma endirin

● Aşınma vahidliyini və CD (kritik ölçü) nəzarətini təkmilləşdirin

Bu, xüsusilə yüksək dəqiqlikli naxış köçürmə proseslərində çox vacibdir.

3. Qaz Axını və Yan Məhsulların İdarə Edilməsi

Qapaq halqası aşağıdakılara kömək edir:

● Plitənin kənarında qaz axını dinamikasının idarə olunması

● Arzuolunmaz bölgələrdə polimer yığılmasının azalması

● Uzun proseslər zamanı kamera şəraitinin sabitləşdirilməsi

Bu, təkrarlanabilirliyi və məhsuldarlığın artırılmasını birbaşa dəstəkləyir.