Liner Kvars Üst Qaz Distribütoru

Product Overview

AMAT 0200-09445 Liner Qtz Upper Gas Dist, adətən aşındırma və ya kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesləri üçün istifadə olunan sistemlərdə, yarımkeçirici proses kameralarının yuxarı bölgəsində quraşdırılır.

Əsas Məhsul Məlumatı

Bu komponent, ardıcıl proses şərtlərini təmin etmək üçün alt laynerlər və qaz paylama lövhələri ilə birlikdə işləyən daha geniş qaz paylama və kamera layneri sisteminin bir hissəsidir.

0200-09445 sadə kvars halqası və ya astar deyil — proses kamerasında iki vacib rolu birləşdirən hibrid funksional komponentdir:

Kvars Astarı (Kamera Qoruyucu Qatı)

Astar kimi, plazma mühiti ilə kameranın metal səthləri arasında qoruyucu bir maneə rolunu oynayır. Çöküntünü udur, çirklənmənin qarşısını alır və kameranın xidmət müddətini uzadır.

Üst Qaz Paylama Komponenti

Eyni zamanda, yuxarı kamera bölgəsində proses qaz axınını dəstəkləmək və istiqamətləndirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Qaz lövhələri və ya duş başlıqları ilə birlikdə işləyərək, qazların lövhə boyunca bərabər paylanmasına kömək edir.

Material və Əsas Xüsusiyyətlər

AMAT 0200-09445 Layner, müstəsna performansına görə plazmaya məruz qalan komponentlər üçün geniş istifadə olunan yarımkeçirici dərəcəli əridilmiş kvarsdan (SiO₂) istehsal olunur.

Əsas Material Xüsusiyyətləri

Ultra-Yüksək Saflıq: İstifadə olunan kvars, çirklənmə risklərini azaldır və qabaqcıl yarımkeçirici istehsal standartlarını dəstəkləyir, olduqca aşağı səviyyədə metal çirkləri ehtiva edir.

Əla Plazma Müqaviməti: Əridilmiş kvars ion bombardmanına və reaktiv plazma mühitlərinə davam gətirir və bu da onu aşındırma və ÜRX proseslərində uzunmüddətli istifadə üçün uyğun edir.

Üstün İstilik Sabitliyi: Material yüksək temperatur və istilik dövriyyəsi altında struktur bütövlüyünü qoruyur və zamanla ardıcıl işləməyi təmin edir.

Kimyəvi inertlik: Kvars, yarımkeçirici proseslərdə geniş istifadə olunan flüor və xlor əsaslı kimyəvi maddələr kimi reaktiv qazların korroziyasına davamlıdır.

Elektrik İzolyasiyası: Keçirici olmayan bir material olaraq, kvars sabit elektrik sahələrini qorumağa kömək edir və plazmanın vahid paylanmasına kömək edir.

Bu xüsusiyyətlər kvarsı qaz axınının idarə olunması və plazma məruz qalmasını birləşdirən komponentlər üçün ideal bir material halına gətirir.

Yarımkeçirici Avadanlıqların Daxili Funksiyası

0200-09445 Kvars Üst Qaz Paylayıcı Layner, yarımkeçirici proses kameralarının içərisində bir neçə mühüm rol oynayır və prosesin keyfiyyətinə və avadanlığın etibarlılığına birbaşa təsir göstərir.

Qaz Paylanmasının Optimallaşdırılması

Komponent, proses qazlarının kamera boyunca istiqamətləndirilməsinə və paylanmasına kömək edir və aşağıdakıları təmin edir:

● Vahid qaz axını

● Reaktivlərin ardıcıl paylanması

● Sabit emal şərtləri

Bu, lövhənin səthində vahid aşınma sürətinə və ya film çöküntüsünə nail olmaq üçün vacibdir.

Palata Mühafizəsi

Qurbanlıq astar kimi, kamera divarlarını və struktur komponentlərini aşağıdakılardan qoruyur:

● Plazma məruz qalması

● Kimyəvi reaksiyalar

● Çöküntü yığılması

Bu, təmir xərclərini azaldır və bahalı kameralı aparatların ömrünü uzadır.

Plazma Sabitliyinin Artırılması

Kvars astar yuxarı kamerada sabit dielektrik səth təmin etməklə aşağıdakılara kömək edir:

● Plazma sərhədlərini sabit saxlayın

● Elektrik pozuntularını azaldın

● Prosesin təkrarlanabilirliyini artırın

Çirklənmə və hissəciklərə nəzarət

Layner proses yan məhsullarını tutur və hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirir və aşağıdakılara kömək edir:

● Otağın təmizliyini qoruyun

● Qüsur nisbətlərini azaldın

● Plitənin məhsuldarlığını artırın