EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yüksək təmizlikdə kvars diffuziya borusu
Semixlab yarımkeçirici oksidləşmə, diffuziya və yumşalma prosesləri üçün yüksək təmizlikdə kvars diffuziya borularının dizaynı və istehsalı üzrə ixtisaslaşan Çində aparıcı kvars komponentləri istehsalçısıdır. Ultra təmiz əridilmiş silisiumdan (≥99.99% SiO₂) hazırlanmış və dəqiq formalaşdırma və ciddi çirklənməyə nəzarət vasitəsilə təmizlənmiş, hər bir boru əla istilik sabitliyi və ultra aşağı metal çirklənmə səviyyələrini təmin edir. Əlavə məsləhətləşmənizi gözləyirik.
Təsvir: Hər maşın üçün dəqiq və cəlbedici təsvir yazmağınız daha yaxşı olar. Bunun üçün chat.openai.com saytına daxil olaraq, orada aşağıdakı kimi sorğu yarada bilərsiniz: "Create the most powerful SEO-friendly text about [avtomobil modeli] for rentacarXNUMX.az site." Qeyd: "[avtomobil modeli]" yerinə təsvirini yazmaq istədiyiniz avtomobilin adını qeyd edin.
Semixlab Yüksək Təmizlikdə Kvars Diffuziya Borusu, oksidləşmə, əlavə maddələrin yayılması və tavlama daxil olmaqla, yarımkeçiricilərin istehsalında yüksək temperaturlu istilik prosesləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır.
Ultra yüksək saflıqda əridilmiş silisiumdan (≥99.99% SiO₂) istehsal edilən hər bir boru müstəsna kimyəvi sabitlik, minimal çirklənmə və dəqiq istilik vahidliyi təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur - tələbkar təmiz otaq mühitlərində vafli emal nəticələrinin ardıcıl olmasını təmin edir.
İstər şaquli, istərsə də üfüqi diffuziya sobalarına inteqrasiya olunsun, Semixlab-ın kvars boruları IC, LED, MEMS və güc qurğularının istehsalının ciddi tələblərinə cavab vermək üçün dəqiq şəkildə hazırlanır və hərtərəfli sınaqdan keçirilir.
Applications
Yarımkeçirici proseslərdə tətbiqlər
1. Termal oksidləşmə
Termal oksidləşmə sobalarında, kvars diffuziya boruları yüksək temperaturda (900-1150 ° C) silikon vaflilərin O₂ və ya H₂O buxarına məruz qaldığı əsas reaksiya kamerası kimi çıxış edir.
● SiO₂-nin vahid böyüməsi üçün təmiz və sabit oksigen mühiti təmin edir.
● Qapı və izolyasiya oksidləri üçün yüksək dielektrik bütövlüyünü təmin edərək, metal ionlarının çirklənməsini aradan qaldırır.
Yüksək təmizlikdə kvars diffuziya borusu vafli emalı üçün idealdır
2. Dopant diffuziyası
Kvars diffuziya boruları istənilən birləşmə profillərini yaratmaq üçün əlavə atomları (fosfor və ya bor kimi) silisium substratına yaymaq üçün istifadə olunur.
● Əla kimyəvi təsirsizlik POCl₃ və ya BBr₃ reaksiyaları zamanı çirklənmənin qarşısını alır.
● Halojen əsaslı atmosferlərdə belə yüksək təmizliyi saxlayır.
3. Qızartma və Sürüşmə Prosesləri
İon implantasiyası və ya çökdürüldükdən sonra vaflilər əlavə maddələri aktivləşdirmək və qəfəs zədəsini təmir etmək üçün yüksək temperaturda yumşaldılır.
● Kvars boruları sabit və təkrarlana bilən nəticələr üçün istilik baxımından vahid, az çirklənmə kamerası təmin edir.
● Həm N₂, həm də əmələ gətirən qazın yumşaldıcı mühitləri üçün uyğundur.
4. LPCVD və R&D Termal Emalı
Kiçik miqyaslı LPCVD və ya tədqiqat sobalarında kvars diffuziya boruları həm reaksiya, həm də saxlama kamerası kimi xidmət edə bilər.
● Polisilikon, silisium nitridi və oksid təbəqələrinin çökməsi üçün idealdır.
● Aşağı hissəciklərin əmələ gəlməsini və qaçışlar arasında yüksək təkrarlanabilirliyi təmin edir.
Müsabiqəli Advantage
Semixlab üstünlükləri
1. Material Saflığı və İzləmə qabiliyyəti
Hər bir kvars borusu sertifikatlı təchizatçılardan alınan ultra təmiz əridilmiş silisiumdan hazırlanır. ICP-MS analiz hesabatları sorğu əsasında mövcuddur və hər bir partiyanın izlənməsinə zəmanət verir.
2. Dəqiq İstehsal və Fərdiləşdirmə
Semixlab müştərilərin tələb etdiyi xüsusi soba ölçülərinə, istilik profillərinə və qaz axını modellərinə cavab vermək üçün fərdi dizaynlar təklif edir.
Seçimlər:
● Şaquli və ya üfüqi boru konfiqurasiyaları
● Fərdi diametrlər, divar qalınlıqları və son flanşlar
● Cilalanmış və ya cilalanmış səthlər
● Çox vafli daşıyıcılar üçün xüsusi idarəetmə dizaynları
3. Ciddi Test və Keyfiyyət Təminatı
Hər bir diffuziya borusu göndərilməzdən əvvəl ölçülü yoxlamadan, səthin bütövlüyü testindən və istilik gərginliyinin simulyasiyasından keçir. Bu, TEL, Kokusai, Centrotherm və ASM kimi sənayenin aparıcı diffuziya soba sistemləri ilə uyğunluğu təmin edir.
