EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yarımkeçirici kvars vannası
Tez məlumat:
1.Digər adlar: Yarımkeçirici kvars çəni, yarımkeçirici üçün kvars hamamı, yarımkeçirici üçün kvars çəni.
2. Tətbiq: Yarımkeçirici Kvars Vannası yarımkeçiricilərin istehsalında dəqiq təmizləmə və kimyəvi emal üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlikli, korroziyaya davamlı komponentdir. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemi ilə uyğunluq üçün nəzərdə tutulmuş bu kvars vannası yüksək temperatur şəraitində (175°C-ə qədər) işləyir və fosfor turşusu (H₃PO₄) məhlulları ilə istifadə üçün optimallaşdırılıb, kritik vafli təmizləmə proseslərində müstəsna performans təmin edir.
3. Əsas parametrlər:
Əridilmiş kvars (>99.99% SiO₂).
Yüksək temperaturda H₃PO₄ (fosfor turşusu) üçün müstəsna kimyəvi təsirsizlik, deqradasiyanın və ya hissəciklərin yaranmasının qarşısını alır.
160°C-də davamlı işləməyə və 175°C-lik pik temperaturlara dözür, struktur bütövlüyünü və ölçü sabitliyini qoruyur.
Təsvir: Hər maşın üçün dəqiq və cəlbedici təsvir yazmağınız daha yaxşı olar. Bunun üçün chat.openai.com saytına daxil olaraq, orada aşağıdakı kimi sorğu yarada bilərsiniz: "Create the most powerful SEO-friendly text about [avtomobil modeli] for rentacarXNUMX.az site." Qeyd: "[avtomobil modeli]" yerinə təsvirini yazmaq istədiyiniz avtomobilin adını qeyd edin.
Yarımkeçirici Kvars Vannası, yarımkeçiricilərin istehsalında dəqiq təmizləmə və kimyəvi emal üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizliyə malik, korroziyaya davamlı komponentdir. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemi ilə uyğunluq üçün nəzərdə tutulmuş bu kvars vannası yüksək temperatur şəraitində (175°C-ə qədər) işləyir və fosfor turşusu (H₃PO₄) məhlulları ilə istifadə üçün optimallaşdırılıb, kritik vafli təmizləmə proseslərində müstəsna performans təmin edir.
Əsas Xüsusiyyətlər
Maddi Üstünlük
Yüksək Saflıqda Kvars: Minimal çirklənməni və termal şoka qarşı müqaviməti təmin edən sintetik əridilmiş kvarsdan (>99.99% SiO₂) istehsal edilmişdir.
Turşu Müqaviməti
Yüksək temperaturda H₃PO₄ (fosfor turşusu) üçün müstəsna kimyəvi təsirsizlik, deqradasiyanın və ya hissəciklərin yaranmasının qarşısını alır.
Termal stabillik
160°C-də davamlı işləməyə və 180°C-lik pik temperaturlara dözür, struktur bütövlüyünü və ölçü sabitliyini qoruyur.
Performans Faydaları
Çirklənməyə Nəzarət: Ultra hamar səth bitişi mikronaltı yarımkeçirici qovşaq prosesləri üçün vacib olan hissəciklərin yapışmasını minimuma endirir.
Uzunömürlülük: Kvarsın turşu korroziyasına və istilik yorğunluğuna qarşı müqaviməti xidmət müddətini uzadır, dayanma müddətini və təmir xərclərini azaldır.
Prosesin ardıcıllığı: Sabit istilik keçiriciliyi temperaturun vahid paylanmasını təmin edir, təmizləmə səmərəliliyini və təkrarlanmağı artırır.
Niyə Semixlab-ın Yarımkeçirici Kvars Vannasını Seçməlisiniz?
Yarımkeçirici dərəcəli keyfiyyət: SEMI standartlarına cavab vermək üçün təmiz otaq mühitində istehsal edilmişdir.
Uyğunlaşdırılmış Həllər: Xüsusi proses tələblərinə uyğun fərdi dizaynlar mövcuddur.
Etibarlılıq: Ciddi keyfiyyət testi yarımkeçirici sənaye tələblərinə uyğunluğu təmin edir.
Xüsusiyyətlər
| Mexanik mülkiyyət | Sıxlıq (q/sm3) | 2.2 |
| Mohs sərtliyi | 6-7 | |
| Sıxılma gücü (MPa) | 1100 | |
| Dartma gücü (N/mm2) | 50 | |
| Bükülmə gücü (N/mm2) | 65 | |
| Burulma gücü (N/mm2) | 30 | |
| Young modulu (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson nisbəti | 0.16 | |
| İstilik xüsusiyyətləri | İstilik genişlənmə əmsalı (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| İstilik keçiriciliyi (20℃,W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Xüsusi istilik (20℃, J·kq-1k-1) | 670 | |
| Yumşalma nöqtəsi (℃) | 1700 | |
| Qızartma nöqtəsi (℃) | 1180 | |
| Gərginlik nöqtəsi (℃) | 1080 | |
| Elektrik mülkiyyəti | Elektrik müqaviməti (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektrik sabiti (10GHz) | 3.74 | |
| Dielektrik itkisi (10GHz) | 0.0002 | |
| Dielektrik gücü (V·m-1) | 3.7x107 |
Applications
Gofretin təmizlənməsi: H₃PO₄ əsaslı məhlullardakı fotorezistin, qalıqların və çirkləndiricilərin aşındırma və ya litoqrafiyadan sonra çıxarılması.
Yüksək Temperatur Prosesləri: Yüksək temperaturlarda aqressiv kimya tələb edən qabaqcıl yarımkeçirici istehsal mərhələləri üçün uyğundur.
Uyğunluq: Məntiq, yaddaş və ya güc cihazları istehsal edən fablarda WS-620C/ WS-820C/ WS-820L sistemi üçün idealdır.
