PG ilə örtülmüş qrafit halqası

Əgər siz nə vaxtsa SiC kristal böyümə sobasını işlətmisinizsə, kiçik hissələrin böyük fərq yarada biləcəyini bilirsiniz. PG ilə örtülmüş qrafit halqası PVT sisteminin isti zonasına yerləşdirilən hissələrdən biridir və temperatur profillərini sabit saxlamağa, işləmə ardıcıllığını yaxşılaşdırmağa və uzun, bahalı böyümə dövrləri zamanı çirklənməni azaltmağa kömək edir.

Biz yüksək təmizlikli qrafitdən başlayırıq və ona sıx pirolitik qrafit (PG) örtük veririk. Sadə qrafitlə müqayisədə örtüklü versiya istiliyi daha yaxşı keçirir, kimyəvi hücuma davamlıdır və daha az hissəcik buraxır. SiC lövhə istehsalçıları daha böyük kristallara və daha yüksək məhsuldarlığa doğru irəlilədikcə, bu halqalar təkcə performans üçün deyil, həm də birdən çox sobanın təkrarlana bilən nəticələrlə işləməsini təmin etmək üçün əsas istehlak materialına çevrilib.

Nə fərqlənir?

Yüksək təmizlikli PG təbəqəsi – Örtük, hətta çox isti olduqda belə təmiz və sabit qalan yaxşı nizamlı bir karbon quruluşuna malikdir. Asanlıqla parçalanmır və ya inkişaf mühitinə çirkləri buraxmır.

SiC PVT üçün hazırlanmışdır – Halqanın istilik xüsusiyyətləri silikon karbid kristallarının böyüməsinin spesifik ehtiyaclarına uyğunlaşdırılıb. Burada vahid istilik paylanması vacibdir və bu komponent buna nail olmağa kömək etmək üçün hazırlanmışdır.

Təkrarlanan istilik dövriyyəsini idarə edir – Söhbət >2200°C-dən gedir, ard-arda dövrə vurulur. Halqa formasını və ölçülərini saxlayır, ona görə də proses parametrlərinizi daim tənzimləməli deyilsiniz.

Aşağı hissəcik əmələ gəlməsi – PG səthi çox sıx olduğundan, qrafit tozu və boş lopalar kəskin şəkildə azalır. Bu, daha təmiz kamera və son bulvarda daha az qüsur deməkdir.

Özelleştirilebilir – Fərqli divar qalınlığına, müəyyən bir örtük dərinliyinə və ya qeyri-standart daxili diametrə ehtiyacınız varmı? Biz sizin təsvirlərinizə, soba həndəsənizə və ya hətta mövcud nümunəyə əsasən işləyə bilərik.

Partiyadan partiyaya uyğunluq – İstər tədqiqat və inkişaf üçün bir neçə məhsul sifariş edin, istərsə də istehsal üçün müntəzəm çatdırılma edin, biz spesifikasiyaları dəqiq saxlayırıq ki, hər yeni partiyanı yenidən təsdiqləməyə ehtiyac qalmasın.

Bu üzüklər əslində harada istifadə olunur?

● SiC kristal böyümə sobaları – xüsusən də PVT növü

● Yarımkeçirici isti zona yığımları

● Yüksək temperaturlu qrafit soba komponentləri

● SiC bulyon istehsal xətləri

● Genişzolaqlı yarımkeçirici istehsal alətləri

● Kristal böyümə təcrübələri üçün tədqiqat və inkişaf sistemləri

Niyə standart qrafit əvəzinə PG ilə örtülmüş örtüyü seçməlisiniz?

Budur yan-yana sürətli:

PG örtüyündəki daha nizamlı qrafit quruluşu təkcə istilik ötürülməsini artırmaqla yanaşı, həm də istilik qradiyentlərini sabitləşdirməyə kömək edir ki, bu da daha böyük diametrli kristallar yetişdirərkən xüsusilə vacibdir.

İstehsal və keyfiyyətə nəzarət - əslində nə edirik?

Qrafit substratını dəqiq şəkildə emal edirik, sonra PG təbəqəsini tətbiq etmək üçün ciddi şəkildə idarə olunan CVD çökmə prosesini həyata keçiririk. Bundan sonra hər bir partiya aşağıdakı proseslərdən keçir:

● Ölçü yoxlamaları

● Kaplama qalınlığının ölçülməsi

● Səth keyfiyyətinin yoxlanılması (həm vizual, həm də cihaz əsaslı)

● Təmizliyin yoxlanılması

● Toplu ardıcıllıq testləri

Əgər bir neçə soba işlədirsinizsə, ehtiyat hissələrinin uyğun gəlməməsinin nə qədər əsəbi olduğunu artıq bilirsiniz. Buna görə də hər bir partiyanı mümkün qədər yaxın saxlamağa xüsusi diqqət yetiririk - bu, yenidən kalibrləmə üçün vaxtınıza qənaət edir və sobadan sobaya sabit böyüməni qorumağa kömək edir.

Semixlab örtüklü qrafitdə nə təklif edir?

Biz yarımkeçiricilər üçün yüksək performanslı örtüklü qrafit, SiC kristallarının yetişdirilməsi və qabaqcıl termik emal üzrə ixtisaslaşmışıq. Məhsullarımıza aşağıdakılar daxildir:

● PG ilə örtülmüş qrafit halqaları

● PG ilə örtülmüş çuxurlar

● PG ilə örtülmüş bələdçilər və laynerlər

● PG ilə örtülmüş istilik sahəsi komponentləri

● SiC ilə örtülmüş qrafit hissələri

● Xüsusi hazırlanmış qrafit yığımları

İllər ərzində bir neçə SiC lövhə istehsalçısı və avadanlıq təchizatçısı ilə işləmişik, buna görə də yüksək temperaturlu, yüksək təmizlikli mühitlərin real dünya tələblərini başa düşürük.

Tipik texniki xüsusiyyətlər (istinad dəyərləri)

Bunlar sizin xüsusi tələblərinizə uyğun olaraq tənzimlənə bilər.

Tez-tez eşitdiyimiz bəzi suallar

1. PG örtüyü ilə PyC örtüyü arasındakı əsl fərq nədir?

Bir sözlə, PG (pirolitik qrafit) daha nizamlı kristal quruluşa malikdir ki, bu da ona daha yaxşı istilik keçiriciliyi və istilik idarəçiliyi verir. PyC (pirolitik karbon) həmçinin yaxşı səth qorunması təklif edir, lakin onun istilik göstəriciləri ümumiyyətlə daha aşağıdır. İstilik sahəsinin vahidliyi vacibdirsə, PG adətən daha uyğundur.

2. Bu üzükləri öz dizaynımla düzəldə bilərsinizmi?

Əlbəttə. Xarici diametr, daxili diametr, hündürlük, örtük qalınlığı, hətta qismən örtük sahələri – biz sizin təsvirlərinizi izləyə və ya mövcud nümunəni təkrarlaya bilərik.

3. Hansı sənayelər onlardan daha çox istifadə edir?

Əsasən SiC kristallarının yetişdirilməsi, yarımkeçirici soba istehsalı və saflığın və istilik sabitliyinin vacib olduğu istənilən yüksək temperaturlu materialların emalı.