Bütün Kateqoriyalar
SiC keramika
SiC Taxma Ring AMAT 0200-21111
SiC Taxma Ring AMAT 0200-21111

SiC Daxiletmə Halqası 0200-21111


AMAT 0200-21111 SiC Daxiletmə Halqası, qabaqcıl yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə üçün hazırlanmış dəqiq mühəndislik yolu ilə hazırlanmış silikon karbid (SiC) kamera komponentidir. Aqressiv plazma təsirinə, yüksək temperaturlara və kimyəvi cəhətdən reaktiv proses mühitlərinə davam gətirmək üçün hazırlanmış bu daxiletmə halqası kamera aparatlarının qorunmasında və sabit proses şəraitinin qorunmasında mühüm rol oynayır. Yüksək təmizlikli SiC-dən istehsal olunan komponent, plazma eroziyasına, istilik gərginliyinə və hissəciklərin əmələ gəlməsinə qarşı əla müqavimət göstərir və bu da onu kameranın bütövlüyünün və lövhə məhsuldarlığının vacib olduğu çökmə və aşındırma tətbiqləri üçün ideal seçim halına gətirir. Sorğunuzu məmnuniyyətlə qarşılayırıq.

Təsvir: Hər maşın üçün dəqiq və cəlbedici təsvir yazmağınız daha yaxşı olar. Bunun üçün chat.openai.com saytına daxil olaraq, orada aşağıdakı kimi sorğu yarada bilərsiniz: "Create the most powerful SEO-friendly text about [avtomobil modeli] for rentacarXNUMX.az site." Qeyd: "[avtomobil modeli]" yerinə təsvirini yazmaq istədiyiniz avtomobilin adını qeyd edin.

AMAT 0200-21111 SiC Daxiletmə Halqası, Tətbiqi Materiallar yarımkeçirici proses alətlərində geniş istifadə olunan yüksək performanslı Silikon Karbid (SiC) kamera komponentidir. Ekstremal plazma və yüksək temperaturlu mühitlər üçün hazırlanmış bu cihaz, proses sabitliyini qoruyarkən kamera aparatlarının qorunmasında mühüm rol oynayır.

Məhsul növü və materialı

Məhsul Növü: Üzük / Kamera Astarı Komponentini Daxil Et

Material: Yüksək təmizlikli silikon karbid (SiC)

Dizayn Funksiyası: Plazma məruz qalan kamera bölgələri üçün aşınmaya davamlı, yüksək temperaturlu əlavə

Əsas Material Xüsusiyyətləri:

● Yüksək Sərtlik və Aşınmaya Davamlılıq: Kamera divarlarını plazma eroziyasından qoruyur

● İstisna Termal Sabitlik: 600°C-dən yuxarı temperaturda etibarlı şəkildə işləyir

● Kimyəvi inertlik: Flüor və xlor əsaslı kimyəvi maddələrə davamlıdır

● İstilik Keçiriciliyi: İstiliyin vahid paylanmasını təmin edir və qaynar nöqtələrin əmələ gəlməsini azaldır

Yarımkeçirici Avadanlıqlarda Funksional Rollar

0200-21111 SiC Taxma Halqası dəqiq mühəndislik yolu ilə hazırlanmış kamera mühafizə komponentidir. Onun əsas funksiyalarına aşağıdakılar daxildir:

1. Kamera Divarının Mühafizəsi

● Kvars, Al₂O₃ və ya metal komponentlərini birbaşa plazma təsirindən qoruyur

● Eroziyanı azaldır və komponentlərin xidmət müddətini uzadır

2. Komponent Dəstəyi və Uyğunlaşdırması

● Astarları, kənar halqaları və duş başlığı dəstlərini sabitləşdirir

● Konsentrikliyi və dəqiq kamera həndəsəsini qoruyur

3. Hissəciklərə Nəzarət və Proses Sabitliyi

● Yüksək sərtlik və hamar SiC səthləri hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirir

● Ardıcıl lövhə emalı üçün plazma vahidliyini artırır

Ümumi uğursuzluq rejimləri

Proses və texniki xidmət baxımından əsas nasazlıq mexanizmlərinə aşağıdakılar daxildir:

● Plazma Eroziyası: Reaktiv qazlara davamlı məruz qalma səbəbindən tədricən material itkisi

● Termal Stress Çatlaması: Sürətli istilik dövriyyəsi nəticəsində yaranan mikro çatlar

● Kənarların sınması və mexaniki aşınma: Düzgün quraşdırma və ya istifadədən yaranan zərər

● Hissəciklərin Çirklənməsi: Səthin parçalanması mikrohissəciklərin artmasına səbəb olur

● Ölçü Drifti: Kameranın möhürlənməsinə və ya hizalanmasına təsir edən həndəsədəki kiçik dəyişikliklər

Semixlab Mühəndislik Perspektivi

0200-21111 SiC Taxma Halqası uzunmüddətli kamera sağlamlığı və prosesin təkrarlanması üçün vacibdir.

Aktiv bir proses komponenti olmasa da, onun deqradasiyası birbaşa aşağıdakılara təsir göstərə bilər:

● Plazma vahidliyi və aşındırma/çökdürmə konsistensiyası

● Lövhə qüsurunun sıxlığı və məhsuldarlığı

● Ümumi alət prosesi pəncərəsinin sabitliyi

Tövsiyə olunan təcrübələr:

● Hər PM dövründə mikro çatlar və səth aşınmalarını yoxlayın

● Quraşdırma zamanı metalın keramika ilə təmasından çəkinin

● İstifadə və plazma məruz qalma metriklərinə əsasən vaxtaşırı dəyişdirin

Bu yanaşma avadanlıqların maksimum işləmə müddətini, ardıcıl proses performansını və hissəciklərlə əlaqəli qüsurların minimuma endirilməsini təmin edir.

Xidmətlərimiz

INQUIRY

İsti kateqoriyalar