SiC keramika pota

SiC Seramik Crucible, SiC və GaN kristallarının böyüməsi, epitaksial çökmə, diffuziya və yüksək temperaturda yumşalma kimi proseslərdə kritik saxlama və reaksiya qabı kimi xidmət edir - burada təmizlik, sabitlik və temperatur vahidliyi vafli məhsuldarlığı və kristal keyfiyyətini birbaşa müəyyənləşdirir.

Maddi xüsusiyyətlər

● Materialın tərkibi: Ultra təmiz sinterlənmiş SiC və ya CVD-SiC (≥99.9%)

● Sıxlıq və Mikrostruktur: Üstün qaz keçirməzliyi üçün tam sıx, incə dənəli və məsaməli olmayan struktur

● İstilik Sabitliyi: İnert və ya reaktiv qaz atmosferlərində 2000°C-ə qədər əla performans

● İstilik keçiriciliyi: 120–200 W/m·K, üstün temperatur vahidliyini təmin edir

● Korroziyaya davamlılıq: Hidrogen, xlor və halogen əsaslı texnoloji qazlarda əla sabitlik

● Səthi bitirmə: hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirmək üçün güzgü ilə cilalanmış və plazma ilə təmizlənmişdir

Yarımkeçiricilər İstehsalında Əsas Tətbiqlər

SiC Ceramic Crucible yarımkeçirici istehsalının bir neçə mərhələsində mühüm rol oynayır, o cümlədən:

1. Kristal artımı və epitaksiya

PVT (Fiziki Buxar Nəqliyyatı) və CVD epitaksial böyümə sistemlərində istifadə edilən SiC tigeləri mənbə materialları və böyüyən kristallar üçün sabit, qeyri-reaktiv konteyner təmin edir.

Onların yüksək saflığı və uyğun termal genişlənmə əmsalı çirklənmə və gərginliyi minimuma endirərək, SiC, GaN və Ga₂O₃ substratlar üçün qüsursuz kristal əmələ gəlməsini təmin edir.

2. Yüksək temperaturda diffuziya və tavlama

Termal emal, diffuziya və oksidləşmə proseslərində SiC tigeləri həddindən artıq istilik dövriyyəsi altında öz formasını və kimyəvi bütövlüyünü qoruyur, vafli keyfiyyətinə xələl gətirə bilən qazın və hissəciklərin buraxılmasının qarşısını alır.

3. Materialın Sinterləşdirilməsi və Toz Emalı

SiC tigeləri həm də yarımkeçirici dərəcəli toz sinterləmə üçün idealdır, vakuum və ya idarə olunan atmosfer şəraitində yüksək temperaturda kimyəvi təsirsizlik və ölçülü sabitlik təklif edir.

Semixlab-ın üstünlükləri

Semixlab Semiconductor-da biz sadəcə komponentlərdən daha çoxunu təmin edirik – biz yarımkeçirici istehsalının ciddi tələblərinə cavab vermək üçün hərtərəfli mühəndis həlləri təqdim edirik.

1. Xüsusi dizayn

● Uyğunlaşdırılmış pota həndəsəsi, qalınlığı və qaz girişi konfiqurasiyası.

● Əsas kristal artımı və CVD sistemləri (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco və s.) ilə uyğun gəlir.

2. Texniki Məsləhətləşmə

● 20 ildən artıq sənaye təcrübəsi olan daxili material alimləri və texnoloji mühəndislər.

● İstilik dizaynı, qaz axınının simulyasiyası və prosesin uyğunlaşdırılması üçün dəstək.

3. Çatdırılmadan əvvəl Keyfiyyət Təminatı

● Hər bir tige ölçülü dəqiqlik yoxlamasından, helium sızmasının yoxlanılmasından və səth pürüzlülüyünün təhlilindən keçir.

● Əlavə istifadə müddəti və təmizlik üçün CVD qoruyucu örtüyü və güzgü cilalama xidmətləri.

Semixlab SiC Ceramic Crucible qabaqcıl yarımkeçirici emalında istilik sabitliyi, təmizlik və kimyəvi davamlılıq üçün yeni meyar müəyyən edir. Fərdi dizayn variantları, texniki məsləhətlər və ciddi göndərilmə öncəsi yoxlama ilə Semixlab hər bir məhsulun yüksək temperaturlu, yüksək təmizlikli yarımkeçirici tətbiqlərin tələblərinə cavab verməsini təmin edir. Əlavə sorğularınızı gözləyirik.