SSiC Möhürləmə Halqaları

Semixlab-da SSiC Möhürləmə Halqalarımız müasir yarımkeçirici istehsalının sərt tələbləri üçün hazırlanmış yüksək performanslı sızdırmazlıq texnologiyasının təməl daşıdır. Tam sıx, yüksək təmizlikli sinterlənmiş silikon karbiddən istehsal olunan bu sızdırmazlıq komponentləri ən tələbkar vakuum, yüksək temperatur və korroziyalı qaz mühitlərində müstəsna kimyəvi stabillik, istilik davamlılığı və mexaniki möhkəmlik təmin edir. Ön panel emalı sahəsində zəngin mühəndislik təcrübəmizlə, qabaqcıl yarımkeçirici qovşaqlarda proses stabilliyini artıran, avadanlığın ömrünü uzadan və cihazın məhsuldarlığını qoruyan SSiC sızdırmazlıq həlləri hazırlayırıq.

Plitələrin hidrogenlə zəngin atmosferlərə, aqressiv xlorlu kimyəvi maddələrə və 1200°C-dən yuxarı temperaturlara məruz qaldığı epitaksiya (Epi) proseslərində SSiC Möhürləyici Halqaları reaktiv kamera sahəsi ilə ətrafdakı mexaniki qurğular arasında hava keçirməyən məsafənin qorunmasında mühüm rol oynayır. Onların ultra aşağı məsaməliliyi və misilsiz korroziyaya davamlılığı reaktor daxilində uzunmüddətli qaz bütövlüyünü təmin edir, sızmanın, çirklənmənin və film vahidliyinə və ya aşındırıcı dəqiqliyə xələl gətirə biləcək parazitar reaksiyaların qarşısını alır. Fırlanan susseptor sistemlərində SSiC-nin üstün aşınma müqaviməti və ölçülü stabilliyi davamlı istilik dövrü vasitəsilə hamar, hissəciksiz işləməyə imkan verir və yüksək keyfiyyətli Si, SiGe, SiC və GaN epitaksial təbəqələrinin istehsalını dəstəkləyir.

ALD, CVD, PECVD və LPCVD platformalarında SSiC Möhürləmə Halqaları, halogen əsaslı prekursorlara, plazma eroziyasına və təkrarlanan nasoslama dövrlərinə davam gətirməli olan ilkin kamera möhürləri, izolyasiya halqaları və plazmaya məruz qalan struktur komponentləri kimi xidmət edir. TEOS, TMA, xlorosilanlar, flüor növləri və çökmə yan məhsulları iştirakı ilə kimyəvi cəhətdən inert qalmaq qabiliyyəti onları örtülmüş metallara və ya polimer kompozit möhürlərə üstünlük verilən alternativ halına gətirir. Semixlab-ın SSiC-nin sıx kristal quruluşu, inkişaf etmiş nazik təbəqə çökməsi üçün tələb olunan yüksək təkrarlanma və aşağı qüsurlu mühitləri dəstəkləyərək, qazlaşmanı və hissəciklərin əmələ gəlməsini aradan qaldırır. Dəqiq möhürləmə və mexaniki bütövlüyü qoruyaraq, bu halqalar kamera təzyiqini, temperatur paylanmasını və prekursor axın profillərini sabitləşdirir - bu amillər ardıcıl dielektrik, maneə və epitaksial təbəqə performansı üçün vacibdir.

Diffuziya, yüksək temperaturlu tavlama və sürətli istilik emalı mühitlərində SSiC Möhürləmə Halqaları isti reaksiya zonaları ilə soba sistemlərinin ətraf mühit mexaniki interfeysləri arasında etibarlı möhürləmə təmin edir. Onların son dərəcə aşağı istilik genişlənmə əmsalı, yüksək sınıq möhkəmliyi və əla oksidləşmə müqaviməti ilə birlikdə, hətta 1400°C-dən yuxarı temperaturda belə qaz bütövlüyünü və mexaniki sabitliyi qorumağa imkan verir. Bu, vahid aşqar aktivləşməsini, sabit soba atmosferini və lövhədən lövhəyə tutarlılığı təmin edir, aşqarların daxil olmasını minimuma endirir və proses parametrlərində sürüşməni azaldır. Boru sobaları və RTP/RTA kameraları üçün SSiC-nin sürətli temperatur rampaları altında davamlılığı uzun əməliyyat ömrünü, daha az texniki xidmət fasilələrini və qorunan proses təmizliyini təmin edir.

Yüksək dəqiqlikli mikrostruktur yoxlaması, plazma aşındırma müqavimətinin qiymətləndirilməsi, dəqiq ölçülü nəzarət və çirklənmə təhlili vasitəsilə hər bir möhürləmə halqası ciddi qlobal sənaye standartlarına uyğun olaraq yoxlanılır. Nəticədə yaranan komponentlər son dərəcə aşağı ion çirkləri, sıfıra yaxın keçiricilik və uzunmüddətli ölçülü stabillik nümayiş etdirir ki, bu da fabriklərə və avadanlıq istehsalçılarına daha yüksək işləmə müddəti, uzadılmış PM dövrləri və istehsal xətləri boyunca üstün proses vahidliyi əldə etməyə imkan verir. Semixlab, yarımkeçirici sinterləşdirilmiş silikon karbid (SSiC) sahəsində həmişə etibarlı uzunmüddətli tərəfdaşınızdır.