CVD örtükləri yarımkeçirici aşındırma proseslərində çirklənməni necə azaldır

Yarımkeçiricilər istehsalında hətta ən kiçik çirklənmə böyük problemlərə səbəb ola bilər. Bu, aşındırma mərhələsində çox doğrudur. Bu nöqtədə kiçik hissəciklər və ya pis reaksiyalar cihazı zədələyə bilər. Nə qədər yaxşı məhsul çıxdığını da azalda bilərlər. Bu problemləri azaltmağın bir yolu istifadə etməkdirCVD (kimyəvi buxar çökmə) örtükləri. Bu örtüklər aşındırma kamerasındakı hissələri qoruyur. Onlar əşyaları təmiz saxlamağa, aşınmanın qarşısını almağa və qüsurları azaltmağa kömək edir.

Plazma aşındırma kameralarında çirklənmə problemi

Plazma aşındırma çiplərin hazırlanmasında əsas addımdır, lakin o, böyük problemlə gəlir: çirklənmə. Aşınma materialı dəqiq şəkildə çıxarmaq üçün qazlardan və plazmadan istifadə edir. Lakin bu sərt şərtlər kameranın hissələrinə də zərər verə bilər. Hissələr köhnəldikcə kiçik hissəciklər və ya lopalar soyularaq vafli səthinə düşə bilər. Bu baş verdikdən sonra qüsurlar əmələ gəlir və onları sonradan düzəltmək çox vaxt mümkün olmur.

Çirklənmənin ümumi səbəbi kameranın divarları və ya birbaşa plazmaya toxunan hissələridir. Zamanla plazma bu səthlərlə reaksiya verir və onları yavaş-yavaş yeyir. Bu, hissəciklərin kameraya düşməsinə və ya arzuolunmaz kimyəvi maddələrin yaranmasına səbəb ola bilər. Hətta hamar görünən hissələr mikroskop altında kobud ola bilər, hissəciklərin yapışmasına və ya yığılmasına imkan verir.

Başqa bir problem, proseslər arasında çarpaz çirklənmədir. Məsələn, kamera təmizlənməyib və ya düzgün örtülməyibsə, bir vaflidən qalan əşyalar digərinə düşə bilər. Çip xüsusiyyətləri ölçüsündə kiçildiyi üçün bu daha böyük problemə çevrilir. Əvvəllər kiçik bir qüsur olan şey indi inkişaf etmiş qovşaqlarda kritik yolu bağlaya və ya qısalda bilər.

Bir çox fabriklər kameranı tez-tez təmizləmək və ya hissələri dəyişdirməklə bunu düzəltməyə çalışırlar. Ancaq bu, vaxt və pul tələb edir. O, həmçinin əsas problemi həll etmir - plazmanın zədələnməsi. Buna görə də qoruyucu örtüklərdən istifadə edirlər. Bu örtüklər ən çox vurulan hissələri örtməklə zədələnməni başlamazdan əvvəl dayandırmağa kömək edir.

Qoruyucu maneə kimi CVD örtükləri: Fəaliyyətdə SiC və TaC

Çirklənməni başlamazdan əvvəl dayandırmaq üçün bir çox çip istehsalçısı müraciət edirCVD örtükləri. Kamera hissələrini zədələrdən və kimyəvi maddələrdən qorumaq üçün nazik təbəqələr əlavə olunur. Bu iş üçün ən etibarlı materiallardan ikisisilisium karbid (SiC)vətantal karbid (TaC). Onlar təkcə sərt deyil, həm də aqressiv plazma mühitlərində sabitdirlər.

SiC istiliyi yaxşı idarə etdiyi və qazlarla reaksiyaya müqavimət göstərdiyi üçün istifadə olunur. Parçalarda CVD ilə örtülmüş SiC asanlıqla aşınmayan güclü bir səth yaradır. Çoxlu aşındırma dövründən sonra belə hamar və təmiz qalır, beləliklə, vaflilərə daha az hissəcik düşür.

TaC aşındırma prosesi daha sərt olduqda istifadə olunur. Güclü plazmalar və sərt halogen qazları ilə yaxşı işləyir. Sıx quruluşu və yüksək ərimə nöqtəsi onu xüsusilə korroziyaya davamlı edir. Bəzi qabaqcıl alətlərdə,TaC örtüklərimetal çirklənməsini azaltmağa kömək edir. Bu, sürətli məntiq və yaddaş çipləri hazırlamaq üçün vacibdir.

Bu örtüklər plazma ilə hissə arasında maneə yaradaraq işləyir. Bu, hissənin daha uzun sürməsinə kömək edir və kameranı sabit saxlayır. O, həmçinin mühəndislərə hissələri təmizləmək və ya dəyişdirmək üçün dayanmadan daha uzun müddət işləməyə imkan verir.

Bunu telefonunuza ekran qoruyucu taxmaq kimi düşünün. Bu, telefonun necə işlədiyini dəyişmir, lakin ekranınızın buna ehtiyacı olmasın. Şəkil:

Təkmilləşdirilmiş aşındırma Performansı və Azaldılmış Baxım Xərcləri

CVD örtükləriSiC və TaC kimi hissələri təhlükəsiz saxlayır, aşındırmanın daha hamar olmasına kömək edir və daha az fiksasiya tələb olunur. Kamera hissələri yaxşı vəziyyətdə qaldıqda, aşındırma daha ardıcıl olur. Bu o deməkdir ki, daha çox vafli keyfiyyət yoxlanışından keçir və daha az hissəsi qüsurlara görə atılır.

Sabit kamera şəraiti təkrarlana bilən nəticələr üçün açardır. Kaplamalar olmadan kamera hissələri yavaş-yavaş köhnəlir. Bu, qaz axını, istilik yayılması və plazma davranışını dəyişə bilər. Bu dəyişikliklər əvvəlcə kiçik ola bilər, lakin zamanla fərqli nəticələrə səbəb ola bilər. Kaplanmış hissələr kameranı bir vaflidən digərinə daha proqnozlaşdırıla bilən saxlamaqla bunun qarşısını almağa kömək edir.

Bundan əlavə, CVD ilə örtülmüş hissələr dəyişdirilməzdən əvvəl daha uzun müddət xidmət edir. Örtülməmiş alətlərin təmizlənməsi üçün daha çox dayanacaq tələb olunur, bu da gecikmələrə səbəb olur. Kaplanmış hissələr daha uzun müddət xidmət edir, dayanma müddətini və əlavə işləri azaldır.

Real dünya fabları bu nəticəni gördülər. Məsələn, bir çip istehsalçısı adi alüminium əvəzinə SiC örtüklü üzüklərdən istifadə etdi və 40% daha uzun işləmə müddəti əldə etdi. Bu, dayanma müddətini azaltdı və vafli məhsuldarlığını daha sabit saxladı.

Bu, “bir az daha çox pul xərclə, zamanla çox qənaət et” kimi aydın bir haldır. CVD örtükləri hissələri təhlükəsiz və təmiz saxlayır, beləliklə mühəndislər işləri düzəltməyə deyil, diqqətlərini işə yönəldə bilərlər.

Etch Sisteminiz üçün Semixlab-ın Kaplama İmkanlarını araşdırın

Etch sisteminizdən daha çox faydalanmaq istəyirsinizsə, materialları və prosesi bilən biri ilə işləmək kömək edir. Semixlab SiC və TaC kimi CVD örtükləri istehsal edir, aşındırma alətləri üçün hazırlanmış və real fabriklərdə sınaqdan keçirilmişdir.

Semixlab-ı fərqli edən onların xüsusi xidmətidir. Onlar alüminium üzüklər və ya qrafit daşıyıcıları kimi bir çox forma və hissələri örtə bilərlər. Kaplamalar hamar, möhkəmdir və ehtiyaclarınıza uyğun hazırlanır. Bütün örtük işləri təmiz, nəzarət edilən otaqlarda aparılır, ona görə də içəriyə yeni kir və ya hissəciklər daxil olmur.

Bir çox fab işlənmiş hissələri birbaşa dəyişdirmək əvəzinə yenidən örtmək üçün göndərir. Bu yanaşma təkcə pula qənaət etmir, həm də tullantıları azaltmağa kömək edir. Semixlab hər bir hissənin hələ də güclü olduğuna əmin olmaq üçün yoxlayır. Əgər keçərsə, onu təmizləyirlər, örtürlər və geri göndərirlər - yenidən istifadəyə hazırdırlar. Bu, hissələrin performansını itirmədən daha uzun sürməsinə kömək edir.

Semixlab ilə işləyən mühəndislər yalnız örtüklərdən daha çox şey əldə edirlər. Hansı materialın qazlarınıza uyğun olduğuna əmin deyilsiniz? Plazma ilə nə qədər davam etdiyini bilmək istəyirsiniz? Onların komandası seçiminizə kömək etmək üçün onu sınaqdan keçirə və ya məlumatları yoxlaya bilər.

Əgər örtülmüş hissələri sınamaq istəyirsinizsə, indi nə qədər vaxt və vafli itirdiyinizi yoxlayın. Kaplamalar hər ikisini xilas etməyə kömək edə bilər.