Yüksək təmizlikli məsaməli qrafit

Yüksək təmizlikli məsaməli qrafit, müstəsna istilik stabilliyi, ultra aşağı çirklənmə səviyyələri və proses tutarlılığı əsas yer tutduğu qabaqcıl yarımkeçirici istehsalı üçün vacib bir materialdır. Semixlab-ın yüksək təmizlikli məsaməli qrafit məhlulları xüsusilə yüksək temperaturlu və çirklənməyə həssas yarımkeçirici proseslər üçün hazırlanmışdır.

Epitaksial proseslərdə yüksək təmizlikli məsaməli qrafit substrat tutucuları, lövhə daşıyıcıları, qaz paylama strukturları və istilik sahəsi elementləri kimi əsas komponentlərdə geniş istifadə olunur. Si, SiC və GaN epitaksial böyüməsi zamanı dəqiq temperatur vahidliyi və sabit qaz axını təbəqə qalınlığına nəzarət, aşqarlama vahidliyi və qüsurun qarşısının alınması üçün vacib amillərdir. Semixlab qrafitinin məsaməli mikrostrukturu lövhə səthində daha vahid istilik paylanmasına və nəzarət edilən qaz diffuziyasına imkan verir və bununla da sərhəd təbəqəsinin qeyri-sabitliyini və kənar təsirlərini azaldır.

1000 °C-dən yuxarı davamlı işləmə tələb edən diffuziya və oksidləşmə prosesləri zamanı yüksək təmizlikli məsaməli qrafit lövhəli qayıqlar, laynerlər və istilik izolyasiya komponentləri üçün etibarlı struktur və dayaq materialı kimi xidmət edir. Sıx qrafitlə müqayisədə onun məsaməli quruluşu təkrarlanan istilik dövrü zamanı istilik gərginliyini və deformasiyanı azaldır, ölçülü sabitliyi artırır və komponentin ömrünü uzadır. Onun özünəməxsus kimyəvi inertliyi və aşağı qatqı tərkibi hissəciklərin əmələ gəlməsi və çarpaz çirklənmə risklərini minimuma endirərkən aşqarların diffuziya profillərinə və oksid təbəqəsinin keyfiyyətinə ciddi nəzarəti dəstəkləyərək təmiz proses mühitinin qorunmasına kömək edir.

CVD, LPCVD və PECVD prosesləri üçün yüksək təmizlikli məsaməli qrafit reaktiv qazlara və yüksək temperaturlara məruz qalan qızdırıcılarda, lövhə daşıyıcılarında və daxili kamera komponentlərində mühüm rol oynayır. Materialın əla istilik keçiriciliyi sürətli və vahid istilik ötürülməsini təmin edir, məsaməli quruluşu isə çökmə yan məhsullarının nəzarət altında tutulmasına imkan verir, avadanlıqların uzun müddətli istismarı zamanı qabıqlanmanı və hissəciklərin sərbəst buraxılmasını minimuma endirir. Bu, prosesin stabilliyinin artırılmasına, texniki xidmət intervallarının uzadılmasına və avadanlıqların işləmə müddətinin artmasına birbaşa töhfə verir.

Semixlab-ın yüksək təmizlikli məsaməli qrafit, xammalın seçilməsi, təmizlənməsi və mikrostruktur mühəndisliyinin dəqiq idarə olunması ilə ciddi keyfiyyətə nəzarət sistemi altında istehsal olunur. Daha uzun xidmət müddəti və ya daha tələbkar kimyəvi mühitlərdə işləmə tələb olunduqda, bu məhsul SiC və ya TaC kimi qabaqcıl qoruyucu örtüklərlə uyğun gəlir. Müstəsna dizayn elastikliyindən, emal qabiliyyətindən və qabaqcıl yarımkeçirici örtük texnologiyasından istifadə edərək, həllərimiz yarımkeçirici avadanlıq platformanızın və proses qovşağınızın xüsusi tələblərinə dəqiq şəkildə uyğunlaşdırıla bilər. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səmimi qəlbdən gözləyirik.