Yumşaq Qrafit Keçe

Çində aparıcı yumşaq keçə izolyasiyası istehsalçısı olan Semixlab-ın yumşaq qrafit keçəsi, yarımkeçirici istehsalı üçün hazırlanmış əsas yüksək temperaturlu karbon materiallarından biridir. Yüksək təmizlikli karbon lifindən istehsal olunan və nəzarətli qrafitləşmə yolu ilə təmizlənmiş Qrafit yumşaq keçəmiz, epitaksiya, diffuziya, tavlama və ion implantasiyası da daxil olmaqla ən tələbkar istilik proseslərində tələb olunan aşağı istilik keçiriciliyini və mexaniki uyğunluğu təmin edir. Semixlab yumşaq izolyasiyası yarımkeçirici istilik emalında əvəzolunmaz bir materialdır. Sorğunuzu səbirsizliklə gözləyirik.

MOCVD və LPE kimi epitaksiya proseslərində dəqiq termal idarəetmə bilavasitə kristal böyümə davranışına, dopinq dəqiqliyinə və səth morfologiyasına təsir göstərir. Semixlab Soft Graphite Felt, isti zonada və ətrafdakı kritik qrafit birləşmələrində yüksək effektiv istilik izolyasiya təbəqəsi kimi çıxış edərək, parazitar istilik itkisini minimuma endirməyə və sensorun yaxınlığında temperatur paylanmasını sabitləşdirməyə kömək edir. Vahid istilik sahəsini saxlamaqla və qrafit və kvars komponentləri arasında termomexaniki gərginliyi bufer etməklə keçə vafli yayını azaldır, qrafit aparatında mikro çatları azaldır və ardıcıl epitaksial təbəqənin formalaşmasını dəstəkləyir. Onun yumşaq, sıxıla bilən strukturu həmçinin istilik genişlənməsi uyğunsuzluqlarını udur, isti zona qurğularının xidmət müddətini uzadır, eyni zamanda ümumi sistemin enerji istehlakını azaldır.

Yüksək temperaturlu diffuziya sobalarında, Soft Graphite Felt, əlavə maddələrin aktivləşdirilməsi və birləşmələrin formalaşması üçün vacib olan sabit, təkrarlanan istilik mühitlərini təmin edir. Onun son dərəcə aşağı istilik keçiriciliyi və aşağı qaz buraxma profili kvars borularını və qızdırıcı modullarını sürətli istilik dalğalanmalarından qoruyan təmiz, idarə olunan izolyasiya maneəsi yaradır. Bu, uzun diffuziya dövrləri boyunca temperaturun bərabərliyini artırır və termal şok riskini azaldır, sobanın etibarlılığını qorumağa kömək edir və tam vafli partiyaları arasında əlavə maddələrin nüfuzetmə ardıcıllığını yaxşılaşdırır. Materialın yüksək temperaturda oksidləşdirici və inert atmosferə tab gətirmə qabiliyyəti geniş spektrli diffuziya kimyası ilə güclü uyğunluğu təmin edir.

Semixlab Soft Graphite Felt, həmçinin, adi soba tavlanmasından sürətli termal tavlamaya (RTA) və SiC və GaN vafli texnologiyalarında istifadə olunan yüksək temperaturda karbonlaşma mərhələlərinə qədər yarımkeçirici yumşalma proseslərində mühüm rol oynayır. Onun karbon-karbon mikro strukturu inert şəraitdə 2000°C-dən yuxarı struktur bütövlüyünü saxlayır və hidrogen, azot və vakuum mühitlərində kimyəvi cəhətdən sabit qalır. Bu, keçəni sobanın daxili hissələrini qorumaq, istilik vahidliyini qorumaq və gərginlik aradan qaldırıcı yumşalma, aktivləşdirmə mərhələləri və qüsurların təmiri dövrlərində çirklənmənin qarşısını almaq üçün ideal hala gətirir. Materialın yumşaqlığı onun həm izolyasiya, həm də mexaniki tampon kimi fəaliyyət göstərməsinə imkan verir, təkrar istilik dövriyyəsi vasitəsilə qrafit qurğuların sabitləşməsinə kömək edir və qızdırılan istilik profilinin uzunmüddətli ardıcıllığını təmin edir.

İon implantasiya sistemləri, xüsusən də implantasiyadan sonra termal bərpa tələb edən sistemlər, ultra aşağı hissəciklərin əmələ gəlməsi, kimyəvi təmizliyi və termal zərbəyə davamlılığına görə Soft Graphite Felt-dən əhəmiyyətli dərəcədə faydalanır. Keçənin izolyasiya və yastıqlama xüsusiyyətləri yüksək enerjili implantasiya və sonrakı tavlama ardıcıllığı ilə əlaqəli aqressiv temperatur dəyişiklikləri zamanı daxili qrafit komponentlərini qoruyur. Onun kimyəvi təsirsizliyi vafliləri və aparatları metal çirklənmədən qoruyur.

Bu dörd yarımkeçirici proses boyunca Semixlab-ın Yumşaq Qrafit Keçəsi müasir vafli istehsalına xas olan istilik, mexaniki və təmizlik problemlərinin hərtərəfli həllini təqdim edir. İstilik paylanmasını sabitləşdirmək, çirklənmə riskini minimuma endirmək və soba və epitaksiya aparatlarını qorumaq qabiliyyəti onu yüksək dəqiqlikli proseslərə nəzarət üçün əvəzsiz material edir. Ciddi təmizləmə standartları ilə dizayn edilmiş və fərdiləşdirilə bilən sıxlıqlarda, qalınlıqlarda və ölçülərdə mövcud olan Yumşaq Qrafit Keçəmiz MOCVD reaktorlarına, diffuziya sobalarına, yumşalma modullarına, ion implantasiyası avadanlığına və digər yüksək temperaturlu alt sistemlərə mükəmməl şəkildə inteqrasiya olunur.