Bütün Kateqoriyalar
CVD Silikon Karbid (SiC) örtük

CVD Silikon Karbid (SiC) örtük

Ev> Məhsullar > CVD örtüyü > CVD Silikon Karbid (SiC) örtük

02
02

SiC ilə örtülmüş gofret qapaq


Mənşə yeri: Çin
Marka adı: Semixlab
Model nömrəsi: SiC ilə örtülmüş vafli suseptor-01
Sertifikatlaşdırma: ISO9001
Minimum Sipariş Sayısı: Danışıqlara tabedir
Qiymət: Xüsusi Qiymətləndirmə üçün əlaqə saxlayın
Qablaşdırma məlumatları: Standart ixrac paketi
Çatdırılma vaxtı: Sifarişin Təsdiqindən 15-30 Gün Sonra
Ödəniş şərtləri: T / T
Bacarığı təchizatı: 2000azn / ay
Təsvir: Hər maşın üçün dəqiq və cəlbedici təsvir yazmağınız daha yaxşı olar. Bunun üçün chat.openai.com saytına daxil olaraq, orada aşağıdakı kimi sorğu yarada bilərsiniz: "Create the most powerful SEO-friendly text about [avtomobil modeli] for rentacarXNUMX.az site." Qeyd: "[avtomobil modeli]" yerinə təsvirini yazmaq istədiyiniz avtomobilin adını qeyd edin.

SiC Örtülü Gofret Susceptor yarımkeçiricilər, LED-lər və fotovoltaiklər kimi yüksək temperatur proseslərində istifadə olunan əsas komponentdir. Əsasən kimyəvi buxar çökmə (CVD), metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) və epitaksiya kimi proseslərdə vafli (məsələn, Si, GaN, SiC, sapfir və digər substratlar kimi) daşımaq və qızdırmaq üçün istifadə olunur. SiC örtüyü əla yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və termal sabitlik təmin edir və sərt proses mühitləri üçün uyğundur.

Application:

SiC (Silicon Carbide) ilə örtülmüş vafli suseptor yarımkeçiricilərin istehsalında və yüksək temperatur proseslərində geniş istifadə olunan, əsasən vafliləri dəstəkləmək və qızdırmaq üçün istifadə edilən əsas komponentdir.

Göstərilə bilən xidmətlər:

müştəri tətbiqi ssenari təhlili, uyğun materiallar, texniki problemlərin həlli.

Şirkət profili:

Semixlab-ın 2 laboratoriyası, 20 illik maddi təcrübəyə malik ekspertlər komandası, Ar-Ge və istehsal, sınaq və yoxlama imkanlarına malikdir.

Xüsusiyyətlər

Texniki parametrləri

layihə parametr
Döşənəyi Yüksək təmizlikli qrafit material
Kaplama materialı Kimyəvi buxar çökməsi (CVD) SiC
Maksimum əməliyyat temperaturu ≤1800℃(inert/vakuum mühiti)
Metaldaxili tərkib <1ppm
Səthi pürüzlülük Ra≤0.5μm (cilalama isteğe bağlıdır)
Standart ölçü 2", 4", 6", 8" vaflilər üçün uyğundur (Xüsusiləşdirilmiş ölçü, görünüş, qalınlığı dəstəkləyir)
Applications

Əsas tətbiq sahələri

Tətbiq istiqaməti Tipik ssenari
Yüksək temperatur prosesi CVD (kimyəvi buxar çökmə), MOCVD (metal üzvi kimyəvi buxar çökmə) və ya epitaksial artım kimi yüksək temperatur proseslərində silikon vafli və ya mürəkkəb yarımkeçirici (məsələn, GaN, SiC) vafliləri daşımaq üçün istifadə olunur. SiC örtüyü 1000°C-dən yuxarı yüksək temperaturlara tab gətirə bilər, ənənəvi metal materialları və ya ətraf mühitə zərər vermə prosesinin qarşısını alır. volatilizasiya.
Yarımkeçirici cihazların istehsalı SiC güc cihazlarının və üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin (məsələn, GaN) hazırlanmasında istifadə olunur və aşındırıcı qazlara (H₂, HCl kimi) və yüksək temperaturlu mühitlərə tab gətirə bilir.
Üçüncü nəsil yarımkeçiricilər SiC örtüklü daşıyıcılar GaN/SiC vaflilərinin istilik genişlənmə əmsallarına daha yaxşı uyğun gəlir, epitaksial böyümədə stress qüsurlarını azaldır və film keyfiyyətini yaxşılaşdırır.
Diffuziya və qızartma Silikon vafli qatqı və ya yumşalma prosesi zamanı (məsələn, ion implantasiyasından sonra aktivləşdirici yumşalma) SiC örtüyü metalın çirklənməsinin qarşısını almaq üçün 1200°C-dən yuxarı yüksək temperaturlara davam edə bilər.

Ekoloji zəncirvari yoxlama təsdiqi

Semixlab SiC Coated Gofre Susceptor beynəlxalq standart yoxlamadan keçib, keyfiyyəti nüfuzlu şəkildə tanınıb və 99.9999%-dən çox SiC örtük təmizliyinə nail olmaqla bir sıra patentləşdirilmiş texnologiyalara malikdir.

Tipik tətbiq prosesi

Qrafit substratın emalı → Səthin ilkin təmizlənməsi → SiC örtüyünün hazırlanması → Sonradan emal → Keyfiyyətin yoxlanılması → Təmizləmə və qablaşdırma

Ən qabaqcıl proses parametrlərinin optimallaşdırılması vasitəsilə Semixlab SiC örtüklü gofret süpürgəsi yüksək səviyyəli yarımkeçirici epitaksial tətbiqlərdə böyük texnoloji irəliləyiş əldə etdi. Bu yenilik yarımkeçiricilər bazarında mütərəqqi idxalı əvəz etməyə imkan verib, yüksək məhsuldar, sərfəli yerli həll təklif edib. Bizim susseptorlarımız GaN, SiC, LED və güc cihazları kimi epitaksial böyümə ssenarilərində uğurla həyata keçirilib, müstəsna istilik sabitliyi, vahidlik və uzunömürlülük nümayiş etdirir - yüksək məhsuldar epitaksial proseslər üçün əsas amillər.

Ətraflı texniki spesifikasiyalar, ağ sənədlər və ya nümunə sınaq tənzimləmələri üçün Semixlab-ın epitaksial prosesinizin effektivliyini necə artıra biləcəyini araşdırmaq üçün Texniki Dəstək Qrupumuzla əlaqə saxlayın.

Müsabiqəli Advantage

Semixlab SiC Kaplamalı Gofret Susceptor əsas üstünlükləri

Əla yüksək temperatur müqaviməti

Yüksək temperatur sabitliyi: SiC 2700 ℃-ə qədər ərimə nöqtəsinə malikdir və 1000 ℃ ~ 1600 ℃ (CVD, MOCVD, epitaksial böyümə və s. Aşağı istilik genişlənmə əmsalı, yüksək temperaturda deformasiya etmək asan deyil və vafli yerləşdirmə dəqiqliyini qoruyur.

Termal zərbəyə qarşı müqavimət: SiC yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, istiliyi tez və bərabər şəkildə yaya bilir və ani temperatur dəyişiklikləri nəticəsində yaranan çatlama riskini azaldır (qrafitdən daha davamlı).

Əla korroziya və çirklənmə müqaviməti

HCl, H2, NH3 kimi aşındırıcı qazlara davamlıdır (aşınma və epitaksial proseslərdə geniş yayılmışdır), daşıyıcının korroziyaya uğramasının qarşısını alır və hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur. Güclü antioksidləşmə performansı, yüksək temperaturlu oksigen tərkibli mühitlərdə qrafitdən daha sabitdir (qrafit örtük qorunmasını tələb edir, SiC isə oksidləşməyə davamlıdır). SiC örtüyü 99.9999% (6N)-dən çox təmizliyə nail ola bilər, metal çirklərinin (Fe, Ni kimi) vafli çirklənməsinin qarşısını alır və silikon əsaslı və geniş diapazonlu yarımkeçiricilər (GaN, SiC) istehsalı üçün xüsusilə uyğundur.

Əla istilik keçiriciliyi və istilik vahidliyi

Sürətli istilik keçiriciliyi vaflinin vahid istiləşməsini təmin edir (epitaksial böyümə zamanı qeyri-bərabər qalınlığı azaldır). İstehsal səmərəliliyini artırmaq üçün temperaturun sürətli yüksəlməsi və düşməsi prosesləri (məsələn, RTP sürətli tavlama) üçün uyğundur. SiC-nin istilik genişlənmə əmsalı silisium (Si) və silisium karbid (SiC) vaflilərinə yaxındır və bu, istilik stresinin yaratdığı qəfəs qüsurlarını azaldır.

Uyğunluq və dizayn çevikliyi

SiC örtükləri həm yüngüllük, həm də yüksək möhkəmlik nəzərə alınmaqla, qrafit, molibden və karbon lifi kimi substratlara yerləşdirilə bilər. CVD və ya püskürtmə prosesləri vasitəsilə daşıyıcıların mürəkkəb strukturları (məsaməli strukturlar və quraşdırılmış qızdırıcı elementlər kimi) hazırlana bilər.

Xidmətlərimiz

Semixlab Məhsul Dükanı

INQUIRY

İsti kateqoriyalar