EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
TaC örtüklü qrafit üzük
Semixlab-dan TaC Örtülü Qrafit Üzüklər yarımkeçirici istehsalında ifrat performans üçün hazırlanmışdır. Yüksək təmizlikli Tantal Karbid (TaC) CVD örtük üzüklərimiz CVD, PVD və plazma aşındırma prosesləri üçün əvəzolunmazdır, bələdçi halqalar, fokus halqaları və layner halqaları kimi xidmət edir. Dayanıqlı və etibarlı komponentlərimizlə hissəciklərin çirklənməsini azaldın və vafli məhsuldarlığını artırın.
Təsvir: Hər maşın üçün dəqiq və cəlbedici təsvir yazmağınız daha yaxşı olar. Bunun üçün chat.openai.com saytına daxil olaraq, orada aşağıdakı kimi sorğu yarada bilərsiniz: "Create the most powerful SEO-friendly text about [avtomobil modeli] for rentacarXNUMX.az site." Qeyd: "[avtomobil modeli]" yerinə təsvirini yazmaq istədiyiniz avtomobilin adını qeyd edin.
Semixlab TaC Örtülü Qrafit Üzük əsasən yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan mühüm komponentdir. Tantal karbid (TaC) təbəqəsi ilə diqqətlə örtülmüş yüksək təmizlikli qrafit substratdan ibarətdir. Bu qabaqcıl örtük əsas qrafiti sərt kimyəvi mühitlərdən və yüksək temperatur şəraitindən qoruyan üstün səth təmin edir.
TaC ilə örtülmüş qrafit üzüklərimiz Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD), Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD) və plazma aşındırma kimi proseslərdə mühüm rol oynayır. Onlar qoruyucu maneə, bələdçi halqa və ya reaksiya kamerasında əsas struktur hissəsi kimi xidmət edir, son yarımkeçirici vaflinin bütövlüyünü və keyfiyyətini təmin edir.
Xüsusiyyətlər
| Tantal karbid (TaC) örtüyünün fiziki xassələri | |
| Sıxlıq | 14.3 (q/sm³) |
| Xüsusi emissiya | 0.3 |
| Termal genişlənmə əmsalı | 6.3*10-6/K |
| Sərtlik (HK) | 2000 HK |
| Müqavimət | 1 × 10-5 Ohm*sm |
| Termal sabitlik | <2500 ℃ |
| Qrafit ölçüsü dəyişir | -10~-20um |
| Kaplama qalınlığı | ≥20um tipik dəyər (35um±10um) |
Applications
Yarımkeçirici proseslərdə tətbiqlər
Yarımkeçiricilər istehsalı üçün TaC örtüklü qrafit üzüklərimizin möhkəm xüsusiyyətləri onları bir neçə əsas tətbiqdə əvəzolunmaz edir.
1. Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD)
Qazların vaflilərdə nazik təbəqələrin çökməsi üçün yüksək temperaturda reaksiya verdiyi CVD proseslərində reaksiya kamerası yüksək aqressiv mühitdir. Bizim CVD TaC örtüklü üzüklərimiz həssas üzüklər, bələdçi üzüklər və layner üzüklər kimi istifadə olunur. Onlar aşındırıcı qazlara və kimyəvi hücumlara qarşı müstəsna qorunma təmin edir, hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını alır və vafli üzərində vahid film qalınlığını təmin edir. TaC-nin yüksək istilik sabitliyi hətta həddindən artıq temperaturda da sabit işləməyə imkan verir.
2. Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD)
PVD püskürtmə və e-şüaların buxarlanması üçün halqalarımız vakuum kamerasının əsas komponentləri kimi xidmət edir. Onlar qoruyucu halqalar və ya bələdçi halqalar kimi çıxış edərək, digər həssas hissələri zibil püskürməsindən və plazma bombardmanından qoruyur. TaC örtüyünün qeyri-adi sərtliyi və sıxlığı onu hissəciklərin aşınmasına yüksək dərəcədə davamlı edir, komponentin deqradasiyası və sonrakı vafli qüsurları riskini kəskin şəkildə azaldır.
3. Plazma aşındırma
Plazma aşındırma zamanı materialı vaflidən seçici şəkildə çıxarmaq üçün yüksək reaktiv plazma istifadə olunur. Bu proses komponentləri əhatə edir
Müsabiqəli Advantage
Semixlab TaC örtüklü qrafit üzüklərin üstünlükləri
1. Üstün Davamlılıq
●Sıx CVD TaC örtüyü plazmaya, kimyəvi hücuma və mexaniki aşınmaya çılpaq qrafitdən daha yaxşı müqavimət göstərir.
2. Yarımkeçirici məhsuldarlığı üçün yüksək təmizlik
●İon çirklənməsini minimuma endirmək üçün ultra aşağı çirkli qrafit və yüksək təmizlikli TaC örtüyü ilə istehsal edilmişdir.
3. Dəqiq emal və örtük nəzarəti
●Möhkəm toleranslar üçün təkmil emal; ardıcıl performans üçün vahid örtük qalınlığı.
4. Fərdiləşdirmə və Mühəndislik Dəstəyi
●Müxtəlif diametrlər, kəsik profilləri, örtük qalınlığı və sızdırmazlıq xüsusiyyətləri üçün seçimlər.
●Prosesə uyğun dizaynlar üçün texniki məsləhət.
5. Sürətli Prototipləşdirmə və Qlobal Təchizat
●Sürətli nümunə istehsalı, qlobal logistika və etibarlı istehsal müddətləri.
Xidmətlərimiz
Semixlab Məhsul Dükanı
