Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləyici Halqalar

Semixlab-ın yüksək təmizlikli izostatik qrafit möhürləyici halqaları ultra yüksək təmizlikli izostatik preslənmiş qrafitdən istehsal olunur və bu möhürləyici halqalar qabaqcıl ön panel istehsal proseslərində prosesin etibarlılığını, məhsuldarlıq ardıcıllığını və avadanlıqların işləmə müddətini birbaşa dəstəkləyən sabit, az çirklənməli möhürləmə performansı təmin edir.

Qaz axınının, təzyiq sabitliyinin və istilik vahidliyinin dəqiq idarə olunmasının vacib olduğu epitaksial sistemlərdə Semixlab-ın Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləmə Həlqələri, tez-tez 1000 °C-dən çox olan davamlı temperaturlarda reaktorun bütövlüyünün qorunmasında mühüm rol oynayır. Kamera interfeyslərində, möhürləmə sərhədlərində və isti zonada fırlanan və ya stasionar birləşmələrdə quraşdırılan bu möhürləmə həlqələri aşağı və izotrop istilik genişlənməsi nümayiş etdirir və bu da təkrarlanan istilik dövrü zamanı ölçülü sabitliyi qorumağa imkan verir. Onların olduqca aşağı metal çirk tərkibi təsadüfən aşqarlanma və ya metal çirklənməsi riskini minimuma endirir, həm silikon, həm də mürəkkəb yarımkeçirici epitaksial proseslərdə vahid epitaksial təbəqə qalınlığını, nəzarətli aşqarlama profillərini və yüksək keyfiyyətli kristal böyüməsini təmin etməyə kömək edir.

CVD, LPCVD və PECVD tətbiqlərində möhürləyici komponentlər yüksək temperatur, vakuum, korroziyaya uğrayan prekursor qazları və bəzi hallarda plazma mühitlərinin kombinasiyasına məruz qalır. Semixlab-ın Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləyici Halqaları kamera qapısı möhürlərində, qaz izolyasiya strukturlarında və reaktorun isti və soyuq bölgələri arasındakı keçid zonalarında geniş istifadə olunur. Yüksək saflıqlı qrafitin daxili kimyəvi müqaviməti HCl, NH₃ və halogen əsaslı prekursorlar kimi aqressiv proses qazlarının iştirakı ilə sabit işləməyə imkan verir, sıx, izotrop mikrostruktur isə uzun xidmət müddəti ərzində hissəciklərin əmələ gəlməsini və mexaniki parçalanmanı azaldır. Metal möhürləyici məhlullarla müqayisədə qrafit möhürləyici halqalar korroziyaya və istilik yorğunluğuna qarşı üstün müqavimət təklif edir, daha uzun texniki xidmət intervallarına və yüksək həcmli istehsalda prosesin təkrarlanmasını yaxşılaşdırır.

Yüksək temperaturda diffuziya, oksidləşmə və sürətli istilik emalı, həddindən artıq temperatur, sürətli istilik rampa sürətləri və tez-tez proses dövriyyəsi səbəbindən möhürləmə performansına ciddi tələblər qoyur. Bu mühitlərdə Semixlab-ın Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləmə Halqaları, soba boruları və RTP kameraları daxilində sabit atmosfer nəzarətini dəstəkləyərək, 1100 °C-dən yuxarı temperaturda ardıcıl möhürləmə bütövlüyünü qoruyur. İzostatik presləmə ilə təmin edilən vahid mexaniki xüsusiyyətlər, sürətli isitmə və soyutma zamanı lokal gərginlik konsentrasiyasının, mikro çatlamanın və möhür deformasiyasının qarşısını almağa kömək edir və bununla da sabit aşqar diffuziya profillərinə, vahid oksid böyüməsinə və qabaqcıl məntiq və yaddaş cihazlarının istehsalı üçün vacib olan təkrarlana bilən istilik prosesi nəticələrinə töhfə verir.

Oyma prosesində, o cümlədən halogen əsaslı kimyəvi maddələrdən və plazma ilə dəstəklənən mühitlərdən istifadə edən quru oyma tətbiqlərində, hissəciklərin əmələ gəlməsini və kimyəvi parçalanmasını məhdudlaşdırarkən vakuum bütövlüyünü qorumaq üçün möhürləyici halqalar tələb olunur. Semixlab-ın Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləyici Halqaları adətən kamera periferiyasının möhürləmə interfeysləri və struktur izolyasiya bölgələri kimi birbaşa olmayan plazma məruz qalma zonalarında yerləşdirilir. Müvafiq səth sıxlaşması və ya qoruyucu örtüklərlə birləşdirildikdə, bu möhürləyici halqalar korroziyalı oyma qazlarına və istilik gərginliyinə etibarlı müqavimət göstərir, sabit kamera şəraitini dəstəkləyir və çirklənmə ilə əlaqəli məhsuldarlıq itkisi riskini azaldır.

Material təmizliyinə, struktur sabitliyinə və uzunmüddətli etibarlılığa diqqət yetirərək hazırlanmış Semixlab-ın Yüksək Saflıqlı İzostatik Qrafit Möhürləmə Halqasının qabaqcıl örtük texnologiyaları ilə uyğunluğu və mürəkkəb yarımkeçirici avadanlıq arxitekturalarına inteqrasiyası onları həm qabaqcıl, həm də yetkin proses qovşaqları üçün etibarlı bir həll halına gətirir. Ən tələbkar proses şəraitində ardıcıl möhürləmə performansı təmin etməklə, Semixlab, yarımkeçirici istehsalçılarına daha yüksək məhsuldarlıq, təkmilləşdirilmiş avadanlıq istifadəsinə və daha aşağı ümumi mülkiyyət xərclərinə nail olmaqda dəstək verir. Çindəki uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səmimi qəlbdən gözləyirik.