SiC örtüklü izostatik qrafit pota

Semixlab tərəfindən təklif olunan SiC Örtülü İzostatik Qrafit Pota, vahid sıxlığı, incə dənəli strukturu və ekstremal şəraitdə müstəsna mexaniki gücü ilə tanınan yüksək səviyyəli izostatik qrafitdən hazırlanmışdır. Qrafit səthinə yüksək təmizlikli Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) silisium karbid (SiC) örtüyü tətbiq olunur və oksidləşmə müqavimətini, istilik sabitliyini və kimyəvi təsirsizliyini əhəmiyyətli dərəcədə artıran sıx və qoruyucu təbəqə yaradır. Bu qabaqcıl material kombinasiyası üstün istilik keçiriciliyi, minimum çirklənmə, uzadılmış xidmət müddəti və ultra yüksək temperaturlu yarımkeçirici emal mühitlərində ardıcıl performans təmin edir.

Materialın tərkibi və xassələri

Bizim potamız iki əsas materialdan hazırlanır:

·İzostatik Qrafit Substrat: Bu əsas material müstəsna mexaniki möhkəmlik və istilik sabitliyi ilə vahid, yüksək sıxlıqlı strukturu təmin edən izostatik presləmə prosesi vasitəsilə istehsal olunur. Bu izotrop təbiət o deməkdir ki, onun xassələri bütün istiqamətlərdə uyğundur, hətta həddindən artıq istilik dövriyyəsində belə əyilmə və çatlamanın qarşısını alır. İstifadə etdiyimiz yüksək təmizlikli qrafit çirkləri minimuma endirir, bu da həssas yarımkeçirici proseslərdə çirklənmənin qarşısını almaq üçün vacibdir.

·Silikon Karbid (SiC) örtük: Qabaqcıl Kimyəvi Buxar Depoziti (CVD) metodundan istifadə etməklə tətbiq olunan SiC təbəqəsi sıx, məsaməli olmayan qoruyucu maneə yaradır.

Yarımkeçirici proseslərdə funksional rol

1. SiC Crystal Growth (PVT Metod)

SiC kristalının böyüməsi üçün Fiziki Buxar Nəqliyyatı (PVT) metodunda tige yüksək keyfiyyətli kristal istehsalına nail olmaqda həlledici rol oynayır. SiC ilə örtülmüş səth qrafit substratı ilə xam SiC mənbə materialı arasında arzuolunmaz reaksiyaların qarşısını alan kimyəvi cəhətdən sabit saxlama mühiti təmin edir. Bu, karbon çirklənməsini minimuma endirir və kristal qəfəsin vahidliyini artırır. Titanın üstün istilik keçiriciliyi sabit istilik paylanmasını təmin edir ki, bu da temperatur qradiyentlərinə nəzarət etmək və SiC buludlarında dislokasiya sıxlığını azaltmaq üçün vacibdir. Nəticədə, krujeva bilavasitə aşağı axın yarımkeçirici qurğunun istehsalı üçün yaxşılaşdırılmış kristal məhsuldarlığına və vafli keyfiyyətinə kömək edir.

2. Silikon Tək Kristal artımı

Silikon monokristalın böyüməsi prosesləri zamanı (məsələn, Czochralski metodu) kimyəvi təsirsizliyi qoruyarkən tige həddindən artıq yüksək temperaturun uzun müddət məruz qalmasına tab gətirməlidir. SiC örtüyü oksidləşmə və çirklərin yayılmasına qarşı qoruyucu maneə rolunu oynayır və heç bir çirklənmənin ərimiş silisiumun içinə keçməsini təmin edir. Bu, daha az struktur qüsurları olan yüksək saf silisium kristalları ilə nəticələnir ki, bu da qabaqcıl IC, enerji cihazları və fotovoltaik elementlərin istehsalı üçün vacibdir. Bundan əlavə, örtük potanın xidmət müddətini artırır, dəyişdirmə tezliyini və ümumi istehsal xərclərini azaldır.

3. Yüksək Temperaturlu Termal Müalicə və Diffuziya Prosesləri

Termal müalicə, yumşalma və diffuziya proseslərində yarımkeçirici vaflilər təmizlik və sabitliyin əsas olduğu yüksək temperaturlara məruz qalır. SiC ilə örtülmüş qab, sublimasiyaya və qazın atılmasına qarşı əla müqavimət göstərir, vafli səthləri poza biləcək hissəciklərin yaranmasının qarşısını alır. Onun istilik sabitliyi vahid isitmə şəraitini təmin edir, bu da qatqı maddələrinin dəqiq diffuziyasını və ardıcıl vafli performansını dəstəkləyir. Təmiz emal mühitini saxlamaqla və materialın deqradasiyasını minimuma endirməklə, krujeva istehsalçılara geniş miqyaslı istehsalda etibarlı, qüsursuz vafli əldə etməyə kömək edir.

Semixlab üstünlükləri

Semixlab dəqiq mühəndisliyi və ciddi keyfiyyət təminatını birləşdirərək etibarlı təchizatçı kimi seçilir. Hər bir SiC ilə örtülmüş qrafit pota örtüyün yapışmasını, qalınlığının vahidliyini və istilik dövriyyəsi altında performansını təmin etmək üçün ciddi zavod sınaqlarından keçir. Şirkət xüsusi proses tələblərinə cavab vermək üçün pota ölçülərini, örtük qalınlığını və səth xassələrini uyğunlaşdıran fərdi həllər təqdim edir.

İstehsaldan əlavə, Semixlab yarımkeçirici mühəndislərə və satınalma qruplarına öz proses şərtləri üçün ən uyğun pota dizaynını seçməkdə kömək edərək texniki məsləhət və tətbiq dəstəyi göstərir. Keyfiyyətə və fərdiləşdirməyə güclü sadiqliyi ilə Semixlab qabaqcıl yarımkeçirici istehsalı üçün etibarlı təchizat və uzunmüddətli performans təmin edir.