Kvars İzolyator Piyadası 300 mm

AMAT Kvars İzolyatoru 300 mm (Hissə № 0200-14197), PVD, CVD və plazma aşındırma sistemləri daxil olmaqla, 300 mm yarımkeçirici proses avadanlıqlarında istifadə üçün hazırlanmış dəqiq mühəndislik əsasında hazırlanmış, yüksək təmizlikli kvars komponentidir.

Kamera daxilində vacib struktur və funksional element olan bu komponent mexaniki dəstəyi, elektrik izolyasiyasını və proses izolyasiyasını tək bir yüksək performanslı həll yoluna birləşdirir. Xüsusilə, proses sabitliyinin, çirklənmənin idarə olunmasının və avadanlığın etibarlılığının vacib olduğu qabaqcıl lövhə istehsalının sərt tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır.

Semixlab-da, sərt plazma mühitlərində əla ölçülü dəqiqlik, dielektrik performans və uzunmüddətli davamlılıq təmin etmək üçün ultra yüksək təmizlikli əridilmiş kvars və qabaqcıl emal texnologiyalarından istifadə edərək kvars dayaq komponentləri istehsal edirik.

Niyə Semicera Semiconductor-u Seçməlisiniz?

Semixlab, qabaqcıl fabriklər üçün etibarlı kvars komponentləri təqdim etmək üçün material təcrübəsini, yarımkeçirici proses biliklərini və dəqiq istehsalını birləşdirir.

Bizim üstünlükləri:

● Ultra yüksək təmizlikli kvars material nəzarəti

● Kritik ölçülər üçün sıx tolerantlıq emalı

● Plazma intensiv tətbiqlərdə sübut olunmuş performans

● AMAT platformaları üçün OEM uyğun həllər

● Sabit qlobal təchizat və mühəndislik dəstəyi

Proses Ərizəsi və Palata Vəzifəsi

Kvars İzolyator Piyadası əsasən ön hissə yarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən də RF plazması, yüksək gərginlik şəraiti və vakuum emalı ilə əlaqəli mühitlərdə istifadə olunur.

Palata Vəzifəsi

Bu komponent proses kamerasının aşağı hissəsində, adətən lövhə dayaq qurğusunun (məsələn, elektrostatik patron və ya qızdırıcı mərhələsi) altında və ya ətrafında quraşdırılır.

Bu, yaxınlıqda fəaliyyət göstərir:

● Plitənin işlənməsi bölgəsi

● Elektrostatik patron (ESC) və ya dayaq quruluşu

● RF ilə işləyən plazma zonaları

Avadanlıq Memarlığında Rol

Kamera sistemi daxilində, Kvars İzolyator Dayaqlığı elektrik cəhətdən aktiv komponentlər və torpaqlanmış mexaniki strukturlar arasında vacib bir interfeys rolunu oynayır.

Onun mövqeyi aşağıdakılara imkan verir:

● Yüksək gərginlikli və ya RF ilə işləyən elementləri elektriklə təcrid edin

● Plitələr mərhələsinin mexaniki bütövlüyünü dəstəkləyin

● Sabit və nəzarətli proses mühitini qoruyun

Əsas Funksiyalar və Performans Üstünlükləri

1) RF Plazma Mühitlərində Elektrik İzolyasiyası

Bu komponentin ən vacib funksiyalarından biri RF qərəzliliyi və plazma şəraitində işləyən sistemlərdə yüksək dielektrik möhkəmlik izolyasiyası təmin etməkdir.

● Elektrik sızmasının və gözlənilməz cərəyan yollarının qarşısını alır

● Qövs və plazma qeyri-sabitliyi riskini azaldır

● Ardıcıl RF sahəsinin paylanmasını təmin edir

Nəticə: Təkmilləşdirilmiş proses təkrarlanabilirliyi və avadanlıq təhlükəsizliyi

2) Mexaniki Dəstək və Struktur Sabitlik

Piyada blokunun bir hissəsi olaraq, komponent aşağıdakıları təmin edir:

● Plitələr idarəetmə sistemləri üçün sabit dəstək

● Hizalanmanı qorumaq üçün yüksək ölçülü dəqiqlik

● İstilik dövriyyəsi altında deformasiyaya qarşı müqavimət

Nəticə: Təkmilləşdirilmiş lövhə yerləşdirmə dəqiqliyi və film vahidliyi

3) Plazma Uyğunluğu və Çirklənməyə Nəzarət

Ultra yüksək təmizlikli kvarsdan hazırlanmış bu komponent aşağıdakıları təklif edir:

● Aşağı metal çirklənmə səviyyələri

● Plazma eroziyasına qarşı əla müqavimət

● Minimal hissəcik əmələ gəlməsi

Nəticə: Çirklənmə riskinin azaldılması və lövhə məhsuldarlığının artırılması

4) İstilik İzolyasiya Performansı

Kvars təbii olaraq aşağı istilik keçiriciliyinə malikdir və bu da dayaq üçün aşağıdakılara imkan verir:

● Qızdırıcı/ESC və kamera strukturları arasında istilik ötürülməsini təcrid edin

● Stabil lövhə profillərini saxlayın

● Sistem daxilində istilik gərginliyini minimuma endirin

Nəticə: Daha yaxşı proses nəzarəti və komponent ömrünün uzadılması