Yarımkeçirici kvars vafli qayıq

Semixlab Yarımkeçirici Kvars vafli qayıqları yarımkeçiricilərin istehsalında diffuziya, oksidləşmə, CVD, yumşalma və s. kimi yüksək temperatur prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş əsas daşıyıcı alətlərdir. Mükəmməl yüksək temperatur müqaviməti, kimyəvi sabitlik və aşağı istilik genişlənmə əmsalı ilə yüksək saflıqda sintetik kvarsdan hazırlanmışdır, prosesin ardıcıllığını və məhsul məhsuldarlığını təmin etmək üçün sərt proses mühitlərində vafli daşıya bilər.

Tətbiq olunan avadanlıq: Hər növ Horizontal/Şaquli Diffuziya Ocağına (Üfüqi/Şaquli Diffuziya Ocağına), LPCVD sistemi və sürətli istilik müalicəsi (RTP) avadanlığı ilə uyğun gəlir.

Keyfiyyət təminatı

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Sertifikatlaşdırma standartları: SEMI F47 spesifikasiyalarına uyğun olaraq, ISO 9001:2015 keyfiyyət idarəetmə sistemi sertifikatı vasitəsilə.

Xidmət müddəti: normal şəraitdə orta xidmət müddəti 2 ildən çoxdur (proses tezliyindən və temperatur şəraitindən asılı olaraq).

Niyə kvars gəmimizi seçirsiniz?

Xüsusi xidmətlər: Avadanlıq modelinə (TEL, Kokusai, ASM və s.) və proses tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirilmiş ölçü və tikinti.

Sürətli cavab: Standart çatdırılma müddəti 3 həftədir, təcili sifarişlər 10 iş gününə qədər azaldıla bilər.

Qlobal xidmət şəbəkəsi: Texniki məsləhət, quraşdırma təlimatı və satışdan sonra texniki dəstək təmin edin. Materialın spesifikasiyası.

Layihənin spesifikasiyası

Material sintezi əridilmiş kvars

Təmizlik ≥99.99% SiO₂

Gofret ölçüsü uyğunluğu 8 ", 12" (6" və ya 18" uyğunlaşdırıla bilər)

İşləmə temperaturu ≤1200°C (davamlı) / 1300°C (pik)

İstilik genişlənmə əmsalı (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Səthin pürüzlülüyü (Ra) ≤0.2μm

Standart tutum 25/50/100 tablet

Tətbiq olunan proses qazları O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl və s.

Yüksək temperaturda oksidləşmə/diffuziya: silisium əlavəsi (fosfor, bor diffuziyası), qapı oksidinin böyüməsi.

Nazik təbəqənin çökməsi: LPCVD polikristal silisium, Silikon nitridin (Si₃N₄) çökməsi.

Tavlama prosesi: ion implantasiyası (RTA), metal ərintisi.

Üçüncü nəsil yarımkeçirici: silisium karbid (SiC), qallium nitridi (GaN) epitaksi prosesi.

1. Material xüsusiyyətləri

Ultra yüksək təmizlik kvars (>99.99% SiO₂): metal ionları (Na +, K +, Fe³ + və s.) ilə çirklənmənin qarşısını alır və qabaqcıl proseslər üçün təmizlik tələblərinə cavab verir (<5nm qovşaqlar).

Yüksək temperatur müqaviməti: 1200°C davamlı iş temperaturu, 1300°C ani temperatur müqaviməti, deformasiya və kristallaşma riski yoxdur.

Kimyəvi inertlik: HCl, H₂, O₂, SiH₄ və turşu/qələvi mühitlər kimi proses qazlarına davamlıdır. Uzun müddətli istifadədə korroziyaya məruz qalmır.

2. Dəqiq dizayn

Strukturu optimallaşdırın:

Yuva aralığının dəqiqliyi ±0.05 mm-dir, vaflinin dəqiq yerləşdirilməsini (8/12 düym) təmin edir və cızıqların və ya yerdəyişmələrin qarşısını alır.

Termal zərbəyə davamlı dizayn, sürətli yüksəlməyə və enməyə uyğunlaşır (istilik dərəcəsi ≤20°C/dəq).

Aşağı hissəcik əmələ gəlməsi: hissəciklərin yapışmasını azaltmaq və düşmək üçün səth ultra dəqiqliklə cilalanmışdır (Ra ≤0.2μm).

3. Diversifikasiyalı konfiqurasiya

Tutum Opsiyonel: 25 ədəd, 50 ədəd, 100 ədəd və digər standart spesifikasiyaları dəstəkləyin, həmçinin qeyri-standart yuva nömrəsini fərdiləşdirmək olar.

Tip uyğunlaşması: Açıq qayıq, qapalı qayıq və ya xüsusi qayıq növü (məsələn, qayıq dibinin təxribat kanalının dizaynı).

Q1: Qeyri-standart ölçü və ya xüsusi dizayn təmin edə bilərsinizmi?

A1: Semixlab ölçü tənzimlənməsi, temperaturun yuxarı həddi (materialın təkmilləşdirilməsi tələb olunur) və ya interfeys növü daxil olmaqla fərdi xidmətlər üçün dəstəkləyir. Xüsusi tələblər üçün Semixlab-ın texniki komandası ilə əlaqə saxlayın.

Q2: Qurğuşun müddəti nə qədərdir?

A2: Standart məhsullar üçün çatdırılma müddəti 4-6 həftə, xüsusi məhsullar üçün dizayn və yoxlama müddəti 2-3 həftədir.

Q3: Satışdan sonra texniki dəstək verirsinizmi?

A3: Bəli, biz ömürlük texniki məsləhət və fövqəladə hallara cavab xidmətləri təqdim edirik. Quraşdırma və ya istifadə ilə bağlı problemlər olduqda, dəstək komandası ilə istənilən vaxt e-poçt və ya telefon vasitəsilə əlaqə saxlamaq olar.

S4: Məhsul yarımkeçirici sənaye standartlarına cavab verirmi?

A4: Bəli, istehsal prosesi SEMI standartlarına uyğundur və ISO 9001 keyfiyyət idarəetmə sistemi ilə sertifikatlaşdırılıb. Hər bir partiya fabrikdən çıxmazdan əvvəl hava sızdırmazlığı, temperatura davamlılıq və təmizlik baxımından yoxlanılır.