Yüksək Saflıqda SiC Qayıq

Yüksək təmizlikli silisium karbid (SiC) qayıq yüksək temperaturda yarımkeçirici proseslər, kristalların böyüməsi və dəqiq istilik müalicəsi üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı keramika daşıyıcısıdır. Ultra yüksək saflıqda SiC materialı ilə sinterlənmişdir və əla yüksək temperatur müqavimətinə, termal şok müqavimətinə və kimyəvi sabitliyə malikdir. Yarımkeçirici diffuziya, CVD, LED epitaksi və fotovoltaik tək kristal artımında geniş istifadə olunur.

Application:

High Purity SiC Boat, əsasən yüksək temperatur mühitlərində vaflilərin daşınması və ötürülməsi üçün istifadə olunan əsas yarımkeçirici prosesdir və silikon vafli diffuziya, oksidləşmə, yumşalma və CVD proseslərində geniş istifadə olunur. Xüsusilə üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin (məsələn, SiC/GaN) və güc cihazlarının yüksək temperaturlu prosesləri üçün uyğundur.

Göstərilə bilən xidmətlər:

müştəri tətbiqi ssenari təhlili, uyğun materiallar, texniki problemlərin həlli.

Şirkət Profili:

Semixlab-ın 2 laboratoriyası, 20 illik maddi təcrübəyə malik ekspertlər komandası, Ar-Ge və istehsal, sınaq və yoxlama imkanlarına malikdir.

Texniki parametrləri

Əsas tətbiq sahələri

Ekoloji zəncirvari yoxlama təsdiqi

Semixlab High-Purity SiC Boat-ın ekoloji zəncirinin yoxlanılması istehsal üçün xammalı əhatə edir, beynəlxalq standart sertifikatından keçmişdir və yarımkeçirici və yeni enerji sahələrində etibarlılığını və davamlılığını təmin etmək üçün bir sıra patentləşdirilmiş texnologiyalara malikdir.

Tipik tətbiq prosesi

Xammalın Hazırlanması (Yüksək Saflıqda SiC Pudrası) → Formalaşdırma Prosesi (Quru Presləmə/İzostatik Presləmə) → Sinterləmə Prosesi → Emal və Səthin Tamamlanması (CNC Taşlama/Cilalama, Kimyəvi Aşınma, Tavlama) → Təmizləmə və CVD Örtüyü → Keyfiyyətə Nəzarət → Qablaşdırma

Ən müasir proses parametrlərinin optimallaşdırılması vasitəsilə Semixlab High-Purity SiC Boat-ın unikal struktur dizaynı vaflinin əla dayanıqlığını təmin edir, eyni zamanda hissəciklərin çirklənməsi riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Onun xidmət müddəti ənənəvi kvars qayıqlarından 5-8 dəfə çox ola bilər ki, bu da onu yüksək temperaturda vafli emalı üçün ideal daşıyıcı həll edir. Bu yenilik ona yarımkeçiricilər bazarında idxalı tədricən əvəz etməyə imkan verir və yüksək məhsuldar, sərfəli yerli həlli təmin edir.

Ətraflı texniki spesifikasiyalar, sənədlər və ya nümunə sınaq tədbirləri üçün Semixlab-ın prosesinizin səmərəliliyini necə artıra biləcəyini araşdırmaq üçün Texniki Dəstək Qrupumuzla əlaqə saxlayın.

Semixlab Yüksək Təmizlik SiC Boat əsas üstünlükləri

1. Həddindən artıq təmizlik (əsas üstünlük)

Semixlab Yüksək Təmizlik SiC Boat ultra yüksək təmizliyə (≥99.9999%) malikdir və vaflilərin və ya epitaksial materialların çirklənməsinin qarşısını almaq üçün çirkin tərkibi (Fe, Al, Na və s.) 1 ppm səviyyəsində idarə olunur ki, bu da SiC/GaN yarımkeçirici istehsalı üçün xüsusilə uyğundur.

2. Kimyəvi təsirsizlik (korroziyaya davamlılıq)

Turşu, qələvi/plazma eroziyasına davamlıdır və HF, HCl, H2 kimi aşındırıcı qazlara (məsələn, yarımkeçirici aşındırma prosesləri kimi) müqavimət göstərə bilər. Yüksək temperaturda qaz buraxılmır.

3. Mexaniki möhkəmlik və istifadə müddəti

Ultra yüksək sərtlik, əla aşınma müqaviməti, hissəciklərin tökülməsi riskini azaldır və xidmət müddətini uzadır (adətən kvars qayığından 3-5 dəfə). Yüksək temperaturda asanlıqla deformasiya olunmur, vafli düzlüyünü qoruyur (məsələn, diffuziya sobasında <0.1 mm) əyilmə kimi.

4. Proses uyğunluğu

Müxtəlif sərt mühitlərə, oksidləşmə/reduksiya atmosferlərinə (O2, H2, Ar kimi) və CVD/PVD örtük proseslərinə uyğunlaşa bilir. Səth çirklənməni daha da azaltmaq üçün cilalama (Ra<0.1μm) və ya örtük (məsələn, SiO2) kimi fərdiləşdirilə bilər.