SiC soba borusu

Məhsulun Tərifi və Əsas Xüsusiyyətləri

SiC soba borusu reaktiv sinterləmə (RBSC) və ya kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesləri vasitəsilə yüksək təmizlikli silisium karbid keramikadan hazırlanmış boru şəklində yüksək temperaturlu konteynerdir. Ənənəvi metal və ya kvars materiallarından fərqli olaraq, SiC-nin unikal kristal quruluşu ona əvəzolunmaz fiziki və kimyəvi xassələr verir və ekstremal mühitlərdə əla funksional sabitliyi saxlamağa imkan verir.

Məhsulun əsas fiziki xüsusiyyətləri:

● Ultra yüksək temperatura dözümlülük: İnert atmosferdə 1600℃-dən yuxarıda uzun müddət stabil işləyə bilər və oksidləşdirici atmosferdə təhlükəsiz istifadə temperaturu 1250-1300℃-dir, kvars borularının (≤1100℃) və istiliyədavamlı ərintilərin (≤1150) hədlərini çox üstələyir.

● İstilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi:

İstilik keçiriciliyi 100-200 W/m·K qədər yüksəkdir ki, bu da kvars şüşəsindən 100 dəfə çoxdur. O, sobada vahid istilik paylanmasına nail ola bilər (gradient ≤±2℃), ənənəvi soba borularında ümumi olan yerli qaynar nöqtə problemini aradan qaldıra bilər.

İstilik genişlənmə əmsalı, kəskin temperatur dəyişiklikləri zamanı struktur bütövlüyünü təmin etmək üçün 350 GPa yüksək elastik modulu ilə birlikdə yalnız 4.0×10⁻⁶/℃ (20-1000℃) təşkil edir.

● Mexanik möhkəmlik və aşınma müqaviməti: Mohs sərtliyi ≥9 (yalnız almazdan sonra ikinci), əyilmə gücü 300 MPa, sıxılma gücü 2000 MPa, hissəciklərin aşınmasına və mexaniki stresə qarşı müqavimət.

● Kimyəvi təsirsizlik: HF və HCl kimi güclü turşu korroziyasına davamlıdır, plazma aşındırılmasına davamlıdır, xüsusilə də yarımkeçirici quru aşındırma mühiti üçün uyğundur.

Niyə Semixlab seçirsiniz?

Təqdim etdiyimiz Silikon Karbid Soba Boruları yalnız yarımkeçirici istehsalında yüksək temperatur, yüksək təmizlik, korroziyaya davamlılıq və s. ekstremal tələblərə cavab vermir, həm də fərdi dəstək, sürətli çatdırılma və yüksək keyfiyyətli satış sonrası xidmət vasitəsilə müştərilərin etibarını qazanır.

İstər vafli fab avadanlığı mühəndisi, istər laboratoriya tədqiqatçısı, istərsə də avadanlıq inteqratoru olmağınızdan asılı olmayaraq, biz sizin yüksək səviyyəli istilik müalicəsi prosesiniz üçün etibarlı, davamlı və təmiz həllər təqdim edə bilərik. Yüksək performanslı istilik müalicəsi ilə bağlı yeni təcrübənizə başlamaq üçün bizimlə əlaqə saxlamağa xoş gəlmisiniz.

SiC soba borularının və alternativ materialların performansının müqayisəsi:

Yarımkeçiricilərin emalı və istehsalında xüsusi istifadələr

SiC Soba Borusu yarımkeçiricilərin emalı və istehsalında əvəzsiz rol oynayır və onun tətbiqi bir çox əsas proses bağlantılarını əhatə edir:

● Diffuziya Ocağı:

Funksiya: Diffuziya sobası yarımkeçiricilərin istehsalında dopinq, oksidləşmə, yumşalma və digər proseslər üçün əsas avadanlıqdır. Diffuziya sobasının əsas layneri olaraq, SiC soba borusu vafli üçün sabit, təmiz, yüksək temperaturlu reaksiya kamerası təmin edir.

Üstünlüklər: SiC-nin yüksək təmizliyi və yüksək temperatur müqaviməti diffuziya prosesi zamanı çirklərin minimuma endirilməsini təmin edir və vaflinin çirklənməsinin qarşısını alır. Mükəmməl termal şok dayanıqlığı isitmə və soyutma prosesi zamanı soba borusunun bütövlüyünü, eləcə də uzunmüddətli yüksək temperaturda iş şəraitində struktur sabitliyini təmin edir, beləliklə dəqiq dopinq konsentrasiyasına və vahid oksid təbəqəsinin böyüməsinə nail olur. Bu, yüksək performanslı tranzistorların və inteqral sxemlərin istehsalı üçün vacibdir.

● PECVD (Plazma Təkmilləşdirilmiş Kimyəvi Buxar Depoziti)/LPCVD (Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Çöküntüsü) Avadanlığı:

Funksiya: PECVD/LPCVD avadanlıqlarında SiC soba boruları, silikon oksidi, silikon nitridi və s.

Üstünlükləri: SiC soba borularının korroziyaya davamlılığı onlara texnoloji qazların (SiH4, NH3, N2O və s. kimi) aşınmasına tab gətirməyə imkan verir, filmin çökmə prosesinin sabitliyini və plyonka təbəqəsinin keyfiyyətini təmin edir. Onun yüksək təmizliyi həm də filmin soba borusu materialı ilə çirklənməsinin qarşısını alır, film təbəqəsinin elektrik və optik xüsusiyyətlərini təmin edir.

● ALD (Atomic Layer Deposition) Avadanlığı:

Funksiya: ALD son dərəcə nazik və vahid filmlər yetişdirə bilən texnologiyadır. SiC soba boruları ALD avadanlıqlarında sabit və asan təmizlənən reaksiya mühitini təmin edir.

Üstünlükləri: SiC səthi reaksiya prekursorlarını adsorbsiya etmək asan deyil. Onun hamar səthi və son dərəcə yüksək təmizliyi, film qalınlığının vahidliyini və yüksək təkrarlanmasını təmin edərək, atom səviyyəsində film böyüməsinə nəzarət etməyə kömək edir.

● Yüksək temperaturlu tavlama sobası:

Funksiya: Yüksək temperaturda yumşalma vafli qüsurları aradan qaldırmaq, əlavə maddələri aktivləşdirmək və material xüsusiyyətlərini yaxşılaşdırmaq üçün əsas addımdır.

Üstünlüklər: SiC soba boruları vaflilərə qəfəs təmirini və çirkləri aktivləşdirməyi başa çatdırmağa və cihazların elektrik performansını və etibarlılığını yaxşılaşdırmağa kömək etmək üçün sabit ultra yüksək temperatur mühiti təmin edə bilər. Mükəmməl mexaniki gücü və termal zərbəyə davamlılığı, həmçinin tez-tez temperaturun artması və azalması zamanı soba borularının bütöv olmasını təmin edir.

● Digər yüksək temperatur tətbiqləri:

SiC Fırın Borusu həmçinin yüksək temperaturlu eksperimental sobalarda, xüsusi materialın sinterləmə sobalarında və s. müxtəlif elmi-tədqiqat və inkişaf mərhələlərində istifadə olunur, qabaqcıl yarımkeçirici materialların inkişafı üçün etibarlı yüksək temperatur mühitini təmin edir.

İstifadəçi narahatlıqları və həllər

1: Tez-tez avadanlığa texniki qulluq və kvars borularının asanlıqla qırılması?

Həll yolu: Semixlab yüksək sıxlıqlı silisium karbid keramika borularından əla istilik zərbələrinə davamlılıqdan istifadə edir ki, bu da texniki xidmət tezliyini və dayanma risklərini əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər.

2: Məhsulun təmizlik tələbləri yüksəkdir, ikincil çirklənmənin qarşısını necə almaq olar?

Həll yolu: CVD SiC örtüyü və ya yüksək təmizlikdə sıx SSiC boru seçin, ultra aşağı metal çirkləri buraxın, ultra təmiz proses standartlarına cavab verin.

3: Xüsusi ölçüləri və ya interfeys strukturlarını almaq çətindir?

Həll yolu: Biz sizin müxtəlif və mürəkkəb sistem inteqrasiya ehtiyaclarınızı ödəmək üçün rəsm fərdiləşdirməsini və kompozit strukturun işlənməsini (flanş interfeysləri, pilləli borular, L-formalı əyilmələr və s.) dəstəkləyirik.

4: Uzun çatdırılma müddətini və satış sonrası zəmanəti necə həll etmək olar?

Həll yolu: Çində SiC komponentlərinin aparıcı istehsalçısı və təchizatçısı kimi Semixlab aşağıdakı hərtərəfli üstünlüklərə malikdir: sabit istehsal gücü + ciddi keyfiyyət yoxlaması + ixrac qablaşdırması + çatdırılma müddətinə zəmanət verə bilən və uzunmüddətli əməkdaşlıq etibarını təmin edə bilən texniki dəstək.

Semixlab məhsulları mağazaları