Üç ləçəkli Qrafit Çarxı

Semixlab-ın Üç ləçəkli Qrafit Çarxı, xüsusilə qabaqcıl Czochralski (CZ) tək kristallı silikon yetişdirmə sistemləri üçün hazırlanmışdır. Onun üstün istilik stabilliyi, struktur bütövlüyü və material təmizliyi kristal keyfiyyətinə və istehsal məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir.

CZ prosesində polikristal silikon 1420°C-dən yuxarı temperaturda kvars çuxurunda əriyir, ətrafdakı qrafit çuxuru və isti zona komponentləri isə mexaniki dəstək verir və istilik mühitini müəyyən edir. Qrafit strukturunun sabitliyi çox vacibdir: o, radial və ox temperatur qradiyentlərini idarə edir, ərimə konveksiya davranışına təsir göstərir və nəticədə kristal böyüməsi zamanı bərk-maye sərhədinin formasını müəyyən edir. Hətta kiçik struktur təhrifləri və ya stressdən qaynaqlanan deformasiyalar belə kristal diametrində dalğalanmalara, oksigen konsentrasiyasında dəyişikliklərə və qüsur sıxlığının artmasına səbəb ola bilər.

Üç ləçəkli Qrafit Çəkisi, çəpər gövdəsini üç dəqiq işlənmiş hissəyə bölən seqmentli bir quruluşdan istifadə edir. Bu dizayn, uzun müddətli yüksək temperaturlu işləmə və təkrarlanan istilik dövrü zamanı yaranan çevrəvi istilik gərginliklərini azaltmağı hədəfləyir. Bütün halqa quruluşu boyunca gərginlik toplaya bilən ənənəvi monolit qrafit çəpərlərindən fərqli olaraq, üç hissəli quruluş, müəyyən interfeyslərdə nəzarətli genişlənməyə və gərginliyin yenidən bölüşdürülməsinə imkan verir. Nəticədə, ölçülü sabitlik yaxşılaşır, çatlama riski azalır və CZ soba mühitlərində uzunmüddətli etibarlılıq artır.

İstilik mühəndisliyi baxımından, ərimə axını modellərini və kristal böyümə səthlərinin əyriliyini idarə etmək üçün sabit və simmetrik temperatur sahəsinin qorunması çox vacibdir. Üç ləçəkli Qrafit Çubuğu, deformasiyanı minimuma endirməklə və böyümə dövrü ərzində həndəsi ardıcıllığı qorumaqla radial istilik tarazlığını yaxşılaşdırır. Bu, sabit kristal dartma şəraitinə, daha dəqiq diametr nəzarətinə və kvars çubuğundan silikon ərintisinə daha vahid oksigen infiltrasiyasına kömək edir. Bu istilik sabitliyi, adətən daha mürəkkəb temperatur qradiyentlərinə və əhəmiyyətli dərəcədə yüksək mexaniki yüklərə malik olan böyük diametrli külçələrin istehsalında xüsusilə vacibdir.

Materialın təmizliyi və struktur sıxlığı yarımkeçirici dərəcəli qrafit komponentləri üçün eyni dərəcədə vacibdir. Üç ləçəkli Qrafit Çarxı, kristal böyümə boşluğunda metal çirklənməsi riskini azaltmaq üçün ciddi şəkildə nəzarət edilən çirk tərkibinə malik yüksək sıxlıqlı, incə dənəli izostatik preslənmiş qrafitdən istifadə edilərək istehsal olunur. Qabaqcıl emal üsulları sıx ölçülü toleransları və seqmentlər arasında dəqiq uyğunluğu təmin edir, mexaniki uyğunluğu qoruyur və interfeyslərdə istilik sızmasını minimuma endirir. Xüsusi proses mühiti tələblərindən asılı olaraq, Semixlab oksidləşmə müqavimətini artırmaq və ömrünü uzatmaq üçün səth qoruyucu örtükləri (SiC örtüyü, TAC örtüyü, Pirolitik Karbon Örtüyü) də inteqrasiya edə bilər.

Semixlab-ın Üç ləçəkli Qrafit Çarxı müasir CZ tək kristallı silikon istehsalı üçün etibarlı məhsul texnologiyası dəstəyidir. Eyni zamanda, Semixlab yarımkeçirici kristal böyümə prosesləri üçün aparıcı texnologiyalar və xüsusi məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səmimi qəlbdən gözləyirik.