Kvars Kölgə Üzüyü 200 mm

AMAT 0200-10445 Kvars Qalxan Halqası (200 mm), plazma aşındırma sistemləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlikli kvars kənar idarəetmə komponentidir. Yarımkeçirici emal zamanı lövhə kənarlarında plazma qarşılıqlı təsirini idarə etmək üçün vacib olan qalxan halqaları kateqoriyasına aiddir.

Ultra yüksək təmizlikli əridilmiş kvarsdan hazırlanmış bu komponent, aşağıdakılar da daxil olmaqla, ekstremal proses şəraitində işləmək üçün hazırlanmışdır:

● Yüksək enerjili plazma mühitləri

● Reaktiv flüor və xlor əsaslı kimyəvi maddələr

● Təkrarlanan istilik dövrü

Standart qoruyucu komponentlərdən fərqli olaraq, kölgə halqası aşınma profilinə, vahidliyə və kritik ölçü (CD) nəzarətinə birbaşa təsir edən proses baxımından vacib bir hissədir.

Semixlab Technology şirkətində kvars kölgə üzüklərimiz aşağıdakı proseslərdən istifadə etməklə istehsal olunur:

● Aşağı çirklənməni təmin etmək üçün ciddi xammal seçimi

● Həndəsi tutarlılığı təmin etmək üçün yüksək dəqiqlikli emal

● Hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirmək üçün optimallaşdırılmış səth emalı

Bu, qabaqcıl aşındırma proseslərində sabit və təkrarlana bilən performans təmin edir.

Ümumi uğursuzluq rejimləri

Sərt plazma mühitlərinə məruz qalan istehlak materialı kimi, kvars kölgə halqaları aşağıdakı parçalanma mexanizmlərinə məruz qalır:

1. Plazma ilə əlaqəli eroziya

● Davamlı ion bombardmanı səthin kobudlaşmasına səbəb olur

● Tədricən material itkisi kritik həndəsələri dəyişdirir

Təsir:

Kənar idarəetmə performansının pisləşməsi, kritik ölçü (CD) sapmalarına və profil qeyri-sabitliyinə səbəb olur.

2. Polimer və əlavə məhsul çökməsi

● Emal məhsulları kvars səthində toplanır

● Əməliyyat zamanı çöküntülər qopub düşə bilər

Təsir:

Plitələr üzərində artan hissəcik çirklənməsi və qüsur sıxlığı.

3. Termal Stress Çatlaması

● Təkrarlanan isitmə və soyutma dövrləri daxili gərginliklər yaradır

● Mikro çatlar yayıla bilər və bu da struktur dağılmasına səbəb ola bilər

Təsir:

Gözlənilməz nasazlıq və avadanlıqların sıradan çıxması.

4. Materialın Yaşlanmasına Görə Hissəciklərin Yaranması

● Uzunmüddətli plazma məruz qalması kvarsın bütövlüyünü pozur

● Mikroçatlaqlar hissəcikləri kameraya buraxır

Təsir:

Azaldılmış məhsuldarlıq və cihazın etibarlılığının azalması.

Niyə Semixlab-ı seçməlisiniz?

Yarımkeçirici materiallar və proses komponentləri sahəsində dərin təcrübəyə malik Semixlab Technology, OEM standartlarına cavab verən və ya onları aşan yüksək performanslı ehtiyat hissələri təklif edir:

● Çirklənməyə həssas proseslər üçün ultra yüksək təmizlikli kvars

● Dəqiq kənar nəzarəti üçün dəqiq mühəndislik həndəsələri

● Uzadılmış xidmət müddəti və azalmış mülkiyyət xərcləri (CoO)

● AMAT platformaları ilə mükəmməl inteqrasiya olunan OEM uyğun dizaynlar

Kvars kölgə üzüklərimiz yarımkeçirici fabriklər tərəfindən etibar qazanır və plazma aşındırma tətbiqləri üçün etibarlı, səmərəli və yüksək performanslı alternativlər axtaran istehsalçıları dəstəkləyir.

Avadanlığın Yeri və Funksiyaları

Quraşdırma yeri

Kvars kölgə halqaları adətən quraşdırılır:

● Plitənin kənarı ətrafında

● Elektrostatik patronun (ESC) üstündə və ya yaxınlığında

● Aşındırma kamerasının plazma örtüyü bölgəsində

Tam bir kənar idarəetmə sistemi yaratmaq üçün digər kənar komponentləri (məsələn, fokuslama halqaları və örtük halqaları) ilə birlikdə işləyir.

Əsas funksiyalar

1. Plazma Qoruyucu və İon Paylanmasına Nəzarət

Qalxan halqasının əsas funksiyası "qoruyucu effekt" yaratmaqdır:

● Plazma məruz qalmasını selektiv şəkildə bloklayır və ya modulyasiya edir

● İon düşmə bucaqlarının və ion paylanmasının tənzimlənməsi

Nəticələr:

Yan divar bucaqları və xüsusiyyət dəqiqliyi daxil olmaqla, təkmilləşdirilmiş aşındırma profilinə nəzarət.

2. Kənarların Vahidliyinin Optimallaşdırılması

Dəqiq şəkildə hazırlanmış həndəsəsi (hündürlük, boşluq və profil) sayəsində kölgə halqası aşağıdakıları edə bilər:

● Kənarların həddindən artıq aşınmasını və mikro yük effektlərini azaldın

● Plitə boyunca aşınma sürətinin vahidliyini artırın

Təsir:

Kritik Ölçü (KÖ) tutarlılığını artırır və lövhə kənarının məhsuldarlığını artırır.

3. Proses Sabitliyi və Təkrarlanabilirliyi

Bu komponent plazmanın kənar bölgədəki davranışını aşağıdakı yollarla sabitləşdirir:

● Ardıcıl plazma örtüyü şəraitinin qorunması

● Uzunmüddətli istehsal prosesləri zamanı proses dəyişikliyini azaldın

Faydaları:

Yüksək həcmli istehsalda proses pəncərəsinin sabitliyini və təkrarlanabilirliyini artırır.

4. Çirklənmə və Yan Məhsullara Nəzarət

Kölgə halqası da aşağıdakılara kömək edir:

● İstənməyən çökmə sahələrini məhdudlaşdırın

● Polimerlərin və əlavə məhsulların paylanmasına nəzarət edin

Bu, hissəcik riskini azaldır və kameranın daha təmiz işləməsinə kömək edir.