Kvars hissələri

Kvars hələ də yarımkeçirici emalda hər yerdə mövcuddur. Bu material yeni deyil, amma etibarlıdır və əksər fabriklər onun necə işlədiyini bilirlər. Təmizlik nəzarət altında olduğu müddətcə, diffuziya, oksidləşmə və təmizləmə mərhələlərində yaxşı işləyir.

Kvars hissələrinin çoxu soba sistemlərinə və ya PECVD alətlərinə gedir. Əsas gözlənti sabitlikdir — mütləq uzun ömürlü deyil, proqnozlaşdırıla bilən performans. Bu, adətən bir çox standart proseslər üçün kifayətdir.

Əlbəttə ki, kvarsın da öz hədləri var. Xüsusilə SiC ilə müqayisədə müəyyən şəraitdə daha tez aşınmaya bilər. Lakin əldə edilməsi nisbətən asan və çox baha olmadığı üçün insanlar hələ də ondan kifayət qədər çox istifadə edirlər.