SiC keramika

SiC keramika yarımkeçirici avadanlıqlarda getdikcə daha çox istifadə olunur, əsasən də daha sərt şəraitdə daha yaxşı dayandıqları üçün. Temperatur yüksəldikdə və ya proses daha aqressivləşdikdə, kvars və ya silikon kimi materiallar məhdudiyyətlər göstərməyə başlaya bilər və adətən SiC də məhz burada işə düşür. Oksidləşmə və ya diffuziya kimi soba proseslərində SiC-dən hazırlanmış vafli qayıqlar və ya avarlar kimi hissələr daha uzun müddət davam etməyə meyllidir. Onlar formalarını saxlayır və uzun müddət işlədikdən sonra belə çox çirklənməyə səbəb olmurlar. İnsanlar tez-tez bu səbəbdən, xüsusən də texniki xidmət çox tez-tez aparıldıqda, kvarsdan istifadəni dayandırırlar.

Aşındırma üçün SiC çox vaxt sadəcə plazmada daha uzun müddət qaldığı üçün seçilir. Silikon hissəciklərlə müqayisədə ömür fərqi bir çox qurğularda nəzərə çarpır, baxmayaraq ki, bu, yenə də dəqiq prosesdən asılıdır. Bu, həmçinin hissəciklərin idarə olunmasında bir az kömək edir və düyünlər kiçildikcə daha həssas olur. Həmçinin SiC-nin MOCVD və ya CVD-də susseptor kimi istifadə edildiyini görəcəksiniz. Bu hallarda, söhbət "güc"dən daha çox temperatur davranışını sabit saxlamaqdan gedir. Bundan başqa, o, astarlar və ya duş başlıqları kimi kamera hissələrində və bəzən komponentlərin işlənməsində də özünü göstərir.